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微机械电子系统及其应用
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刘广玉 作者
北京航空航天大学出版社
译者
2003-2-1 出版日期
202 页数
16.00 价格
平装(无盘)
丛书系列
9787810771832 图书编码

微机械电子系统及其应用 在线电子书 图书标签: 材料学   

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发表于2024-11-23

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微机械电子系统及其应用 在线电子书 图书描述

本书综合当前公开发表的大量有关微机电系统（MEMS）的科技文献和我们近几年研究工作的成果，主要介绍当今微机电系统的内容、应用及其发展。内容包括微机电系统的组成和应用、微机电系统功能材料、微机械制造技术、微机械执行器、微机械传感器及微弱信号检测与处理6部分。

全书内容丰富、图文恰当、新颖实用。可作为高校有关专业研究生和高年级大学生的教材，也可供检测与控制等微工程领域的工程技术人员参考。

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