《真空微電子學及其應用》可作為高等院電子信息技術、通信技術、微電子學及相關專業的高年級本科生教材，也可供從事真空微電子學研究與開發的專業技術人員參考。真空微電子學是一門新興交叉學科，涉及到真空電子學、微電子學、薄膜技術和材料科學等多門學科和技術。《真空微電子學及其應用》從真空微電子學的形成、發展曆史和最新動態齣發，係統地介紹瞭真空微電子學的物理基礎，即場緻發射理論和其他相關物理原理，詳細地討論瞭微細結構製造技術、真空微電子器件工作特性的數值模擬和器件結構設計，著重闡述瞭真空微電子學的應用及其對未來電子學發展的巨大影響。
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