《纳米CMOS器件》介绍了微电子技术中的超深亚微米及纳米器件的物理、工艺和器件结构设计等问题。
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绝版书...写的非常详细，短沟道效应，热载流子效应，应力硅，超浅结，SOI什么的都详细有写。个人只是粗读，主要还是跟老师ppt走得???? 《微纳电子器件》课程用书
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