《微光機電係統》共由三篇構成。第1篇重點介紹微光機電係統在各領域中的應用，即光開關、反射鏡陣列、衰減器、顯示器、掃描儀、分光計、波長可變光學元件、執行器、可動結構體、傳感與傳感器等；第2篇是微光機電係統光學，主要介紹微光機電係統中應用的光學原理，即光的反射及摺射、乾涉、衍射，自由空間光學，光輻射壓，近場光學等；第3篇主要介紹材料，製造，封裝等。
《微光機電係統》內容新穎，技術先進，涉及的領域廣泛，目前國內尚未發現此類專業書籍，具有極高的參考價值。本書可供通信、精密機械、電工電子等相關專業的技術人員參考。
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典型器件、新型器件、光學、電學、材料學、加工手段一鍋燴，隨便看看吧。翻譯比較爛。
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