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微係統技術
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(德國)W.Menz等編、王春海等譯 作者
化學工業齣版社
王春海 譯者
2003-9 出版日期
468 頁數
38.0 價格
平裝
叢書系列
9787502546922 圖書編碼

微係統技術 在線電子書 圖書標籤:  

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發表於2024-11-10

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微係統技術 在線電子書 著者簡介

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微係統技術 在線電子書 圖書描述

本書是德國WILEY-VCH齣版社“Microsystem Technology”一書的中譯本，講述微係統技術領域內的相關內容。全書分為10章，前4章介紹微係統技術的基礎知識、如微係統與微結構間的相互關係、單晶矽的生産、微係統技術的物理和化學基礎等；5-10章為本書核心，詳細介紹微係統技術的基本工藝方法，包括光刻技術、矽技術、LIGA技術(X射綫電鍍成型)、封裝技術等。

本書可作為高校相關專業學生的等候課教材和課外讀物，也適用於微係統技術的專業人員和對微係統技術感興趣的人員閱讀。

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