本書介紹瞭超大規模集成電路相關的化學技術。全書共分11章，內容涉及矽材料及矽化閤物化學性質、襯底加工、環境淨化、淨化水的製備、淨洗技術、矽氣相外延、鍵閤、微機械加工、器件氧化、擴散與離子注入、製版、蝕刻、多層布綫與全局平麵化、電鍍與化學鍍以及金屬處理。 本書可作為電子科學與技術學科高等教材，也可作為教師、研究生的專業參考書，同時對從事微電子方麵的企業和科研單位的專業技術人員也有重要的參考價值。
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