本書針對製造技術的最新進展與需求，以微米尺度零件的加工為主綫，力求使讀者能較為準確地理解和掌握微機械與微細加工技術的基礎知識和常用微細加工方法的基本原理及應用。主要內容包括：微型機械與微細加工的基礎知識；微細切削加工;；半導體材料的微細加工技術；微細電加工等微細特種加工技術；高能束流微細特種加工技術；納米加工技術；生長型微細加工技術；典型微機械産品及其采用的微細加工技術等。
本書適閤於研究生和高年級本科生及從事微細加工研究的教師和工程技術人員參考使用。也是相關人士瞭解最新微細加工技術的一本參考書。
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