微机电系统封装

微机电系统封装 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2026

出版者:清华大学出版社
作者:徐泰然
出品人:
页数:238
译者:
出版时间:2006-1
价格:35.0
装帧:平装
isbn号码:9787302119524
丛书系列:信息技术和电气工程学科国际知名教材中译本系列
图书标签:
  • 微纳
  • mems
  • MEMS封装
  • 微机电系统
  • 封装技术
  • 集成电路
  • 传感器
  • 微电子
  • 器件封装
  • 先进封装
  • 3D封装
  • 可靠性
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具体描述

本书针对来自工业界、研究实验室和大学的工程师、科学家以及技术人员编写,对微机电系统和微系统的组装、封装与测试各个方面进行了分析,内容涉及从基本实用技术到生命科学、电信以及航空工程等重要领域的许多应用。本书覆盖了许多关键的领域,例如微元件的键合与密封、微机电系统和微系统的过程流程、自动微组装过程、射频通信以及航空应用等。对工作在微机电系统和微系统领域的工程师和技术人员有重要参考价值。

《精密制造:微纳尺度下的工艺革新与应用》 本书深入剖析了在微纳尺度下,精密制造领域正在经历的深刻变革,以及这些变革如何驱动着新一代技术和产品的诞生。我们聚焦于那些塑造了当今工业格局的关键工艺,并展望了它们在未来发展中的无限可能。 第一章:微纳加工的基础理论与方法 本章将为您详细解读构成微纳加工的基石。我们将从物质在微观尺度下的行为规律入手,探讨表面张力、粘附力、毛细现象等物理效应在微纳加工中的重要性。接着,我们将系统介绍当前主流的微纳加工技术,包括但不限于: 光刻技术: 从传统的紫外光刻到极紫外(EUV)光刻,深入剖析其分辨率极限、掩模制作、光刻胶选择及其在半导体制造中的核心地位。 刻蚀技术: 干法刻蚀(如反应离子刻蚀 RIE、感应耦合等离子体刻蚀 ICP)和湿法刻蚀,对比其蚀刻速率、选择性、各向异性以及对不同材料的适用性。 沉积技术: 化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)及其各种变体,如原子层沉积(ALD),详细阐述其在薄膜厚度控制、均匀性、化学组成和微观形貌等方面的优势。 微纳成型技术: 包括紫外纳米压印(UV-NIL)、电子束光刻(EBL)、聚焦离子束(FIB)等,重点介绍其在结构精细化、图案化以及材料改性方面的独特能力。 第二章:先进材料在微纳制造中的应用 微纳制造的进步离不开高性能材料的支撑。本章将聚焦于那些在微纳尺度下展现出卓越性能的先进材料,以及它们在各种制造工艺中的具体应用: 半导体材料: 硅、砷化镓、氮化镓等,探讨其晶体生长、掺杂、载流子传输特性以及在集成电路、功率器件中的应用。 压电与铁电材料: 氧化锆钛酸钡(PZT)、铌酸锂(LiNbO3)等,分析其电学与机械耦合效应,以及在微传感器、微驱动器和射频滤波器中的应用。 功能性薄膜: 金属薄膜、绝缘薄膜、介电薄膜、导电聚合物等,研究其导电性、光学特性、耐腐蚀性以及在电子器件、光学元件中的作用。 新型微纳结构材料: 例如二维材料(石墨烯、过渡金属硫化物)的制备与表征,分析其独特的电子和光学性质,以及在传感器、柔性电子等领域的潜力。 第三章:微纳制造的精密测量与表征 高质量的微纳制造离不开精确的测量和表征手段。本章将为您介绍一系列先进的检测技术,确保产品的精度和可靠性: 光学显微技术: 共聚焦显微镜、原子力显微镜(AFM)、扫描隧道显微镜(STM)等,揭示其在形貌观察、表面粗糙度测量以及三维形貌重建方面的能力。 电子显微技术: 扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM),分析其高分辨率成像、元素分析(EDX/WDS)和晶体结构分析能力。 计量与尺寸测量: 轮廓仪、三维扫描仪、干涉仪等,用于精确测量微纳结构的尺寸、形位误差和表面轮廓。 材料性能表征: X射线衍射(XRD)、拉曼光谱、原子力显微镜(AFM)等,用于分析材料的晶体结构、化学成分、机械性能和电学特性。 第四章:微纳制造在关键领域的创新应用 微纳制造的进步极大地推动了众多前沿技术和产业的发展。本章将深入探讨其在以下关键领域的颠覆性应用: 微电子与半导体产业: 从CPU、GPU到内存芯片,详细介绍微纳制造如何支撑摩尔定律的延续,以及对高性能计算、人工智能的影响。 生物医学与健康: 微流控芯片(Lab-on-a-chip)、微纳传感器、药物递送系统,分析其在疾病诊断、基因测序、靶向治疗中的作用。 能源与环境: 微型燃料电池、高效太阳能电池、微纳过滤膜,探讨其在清洁能源、环境监测和水处理中的应用前景。 通信与光学: 微光学元件、光子晶体、微纳天线,介绍其在光通信、生物传感、激光技术等方面的创新。 先进传感与控制: 微型惯性传感器(加速度计、陀螺仪)、MEMS麦克风、压力传感器,展示其在消费电子、汽车、航空航航天等领域的广泛应用。 第五章:面向未来的挑战与机遇 本章将前瞻性地审视微纳制造领域面临的机遇与挑战,并探讨未来的发展趋势: 工艺集成与协同: 如何将多种微纳加工技术有机结合,实现更复杂的结构和功能。 新材料的探索与应用: 寻找和开发在微纳尺度下具有独特性能的新型材料,突破现有技术的瓶颈。 智能化与自动化生产: 利用人工智能、机器学习优化制造过程,提高生产效率和产品质量。 可持续发展与绿色制造: 减少能源消耗和环境污染,开发更加环保的微纳制造技术。 跨学科融合与产业升级: 促进材料科学、物理学、化学、工程学等多学科的交叉融合,引领产业的持续创新。 《精密制造:微纳尺度下的工艺革新与应用》旨在为读者提供一个全面、深入的视角,理解微纳制造的强大力量及其对我们生活和未来的深远影响。本书适合从事微电子、生物技术、材料科学、机械工程等领域的研究人员、工程师以及对前沿科技感兴趣的读者。

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读后感

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用户评价

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作为一名对集成电路设计和制造流程都感兴趣的从业者,我对“微机电系统封装”这个主题有着深厚的兴趣。在我看来,MEMS器件的设计与封装是紧密相连、相互促进的。这本书如果能够探讨封装技术如何反过来影响MEMS器件的设计,例如,封装的尺寸、引线布局和互连方式如何影响器件的性能和功耗,这将是我非常想了解的内容。我希望书中能有一些关于封装与芯片级封装(CSP)、系统级封装(SiP)等概念的融合和发展趋势的讨论。此外,对于MEMS器件在不同环境下的可靠性需求,比如汽车电子、医疗器械等领域,封装技术扮演着至关重要的角色。如果书中能提供一些针对这些特定应用场景的封装策略和案例分析,那将极大地拓宽我的视野,让我对MEMS技术的完整产业链有一个更清晰的认识,并思考如何在设计和封装环节协同优化,以满足严苛的应用要求。

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我是一个喜欢挖掘技术细节的普通科技爱好者,我始终认为,那些让我们生活变得便利的智能设备,背后都有着无数令人惊叹的工程技术支撑。“微机电系统封装”这个书名,让我充满了对这些“幕后英雄”的好奇。我期待这本书能够以一种通俗易懂的方式,为我揭示MEMS器件封装的奥秘。例如,它是如何为那些精密的传感器提供保护,同时又能让它们准确地感知外部世界的信号?书中会不会讲述一些充满挑战的封装故事,比如如何在极小的空间内实现复杂的功能?我希望它能让我了解到,每一次智能手机的触屏、每一次智能手表的健康监测,背后都凝聚着MEMS封装工程师的智慧和汗水。这本书的价值在于,它能够将那些抽象的技术概念,转化为一个个生动的故事,让我感受到科技的魅力,并对那些默默奉献的工程师们心生敬意。

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我是一名对电子产品内部构造充满好奇的用户,每次拆解旧设备时,总会被那些小巧而精密的元器件所吸引。我一直认为,那些隐藏在手机、汽车、智能家居等设备中的微型传感器和执行器,才是驱动现代科技发展的核心力量。而“封装”这个词,对我来说,就像是一个神秘的保护罩,它让这些脆弱的微小部件能够在严酷的环境下工作,并与外部世界进行通信。“微机电系统封装”这本书,恰好满足了我对这些“幕后英雄”的求知欲。我希望它能以一种生动有趣的方式,揭示MEMS器件是如何被精心封装起来的。例如,它如何防止灰尘和湿气的侵入?如何承受振动和冲击?如何实现与电路板的高效连接?书中如果能分享一些关于封装技术发展历程的故事,或者介绍一些具有里程碑意义的封装创新,那将更加引人入胜,让我对这项技术有更深刻的理解和更丰富的联想。

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我对物联网(IoT)和可穿戴设备的快速发展充满了热情,并深知MEMS器件在其中扮演的核心角色。这本书的“封装”部分,正是我当前最需要深入了解的知识点。我希望书中能详细阐述,针对这些对尺寸、功耗和成本都有极高要求的应用,MEMS封装技术是如何进行优化的。例如,如何实现更小的封装尺寸,以适应日益微型化的设备?如何降低封装过程中的功耗,以延长电池寿命?如何通过批量化、低成本的封装技术,来推动MEMS在物联网领域的广泛应用?我尤其关注书中对于“低功耗封装”和“小尺寸封装”的探讨,以及这些封装技术如何与MEMS传感器(如生物传感器、环境传感器)的特性相结合。这本书的出现,能帮助我理解MEMS技术是如何赋能新兴技术,并为我未来的项目提供技术支持和方向指引。

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我是一位喜欢研究产品设计和制造工艺的业余爱好者,对那些“小而精”的电子元器件总是特别关注。MEMS器件之所以能够普遍应用,离不开其精密的封装技术,而“微机电系统封装”这本书,恰好满足了我对这一技术细节的探索欲望。我希望书中能够详细介绍不同MEMS器件(如加速度计、陀螺仪、麦克风等)在封装过程中所遇到的独特挑战,以及针对这些挑战所开发的各种封装解决方案。例如,如何确保MEMS器件在封装过程中不被污染,同时又能保持其灵敏度和准确性?如何实现MEMS器件与控制电路的可靠连接,并保证信号的无损传输?我期待书中能有一些关于封装工艺的图文并茂的介绍,让我能够直观地了解这些微小部件是如何被“打磨”和“装配”起来的,从而更深刻地理解现代电子产品的精密制造过程,并从中获得一些关于产品设计和制造的启发。

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对于我们从事半导体测试和验证的工程师来说,MEMS器件的封装是影响测试效率和结果准确性的关键因素之一。这本书的出现,无疑为我们提供了一个深入了解MEMS封装技术的宝贵机会。我非常关注书中关于封装对MEMS器件电学、机械和热学性能影响的论述,特别是封装应力、热应力以及电磁屏蔽等方面的分析。如果书中能够提供一些实际的测试案例,比如如何通过封装设计来优化信号完整性,或者如何评估不同封装的可靠性,那将对我们的日常工作有极大的帮助。此外,我也希望能学习到一些关于封装缺陷检测和失效分析的方法,这样我们就能更好地识别和解决MEMS器件在封装阶段出现的问题,从而提高产品良率和整体性能。这本书的专业性和实用性,是我选择它的主要原因。

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我是一个对精密仪器和传感器技术情有独钟的爱好者,常常在科技展会上被那些小巧玲珑却功能强大的设备所吸引。微机电系统(MEMS)正是这一领域的璀璨明珠,而“封装”则是将这些精密器件保护起来,并实现与外界连接的关键环节。我希望这本书能够详细阐述不同类型的MEMS器件,比如加速度计、陀螺仪、压力传感器等,它们在日常生活中的应用,以及在封装过程中所面临的独特挑战。我尤其关注封装材料的选择、封装工艺的优化以及封装可靠性评估等方面的内容,因为这些直接关系到MEMS器件的性能和寿命。这本书如果能提供一些实际的案例分析,或者介绍一些业界领先的封装技术和解决方案,那将对我极具启发意义,或许还能为我的个人项目带来一些灵感,解决我在实验中遇到的技术瓶颈,让我能够更深入地理解MEMS技术的工业化落地过程,并感受到其中的技术博弈和创新驱动力。

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作为一个工程专业的学生,我对“微机电系统封装”这个主题充满了浓厚的学习兴趣。在我看来,MEMS器件的性能和可靠性,很大程度上取决于其封装技术。这本书如果能够深入探讨封装设计的原理、不同封装技术的优缺点,以及如何在成本、性能和可靠性之间找到最佳平衡点,那对我学习和未来职业生涯都将非常有益。我希望书中能涵盖诸如引线键合、倒装焊、晶圆级封装等多种封装工艺的详细介绍,以及相关的设备和材料。另外,封装过程中可能会出现的各种失效模式,以及如何通过设计和工艺来避免这些失效,也是我非常想了解的内容。如果书中还能穿插一些研究前沿的进展,比如先进的封装材料、三维集成技术以及面向特定应用的封装策略,那就更完美了。这本书的存在,让我感觉能够系统地梳理和深化我在课堂上学到的知识,并对MEMS产业有一个更全面的认识。

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这本书的封面设计就很有吸引力,那种低调的金属质感,配上精美的微观结构插图,一下子就勾起了我对精密制造领域的好奇心。我一直对那些隐藏在日常电子设备背后,却发挥着至关重要作用的微小部件充满兴趣。这本书的标题“微机电系统封装”听起来就充满了科技感和专业性,让我觉得它肯定能带我深入了解那些令人惊叹的微小世界是如何被“包装”起来,并最终转化为我们手中各种智能设备的。我期待它能通过清晰易懂的语言,将复杂的技术概念娓娓道来,让我这个非专业人士也能领略到微机电系统封装的魅力,或许还会发现一些我从未设想过的应用场景,比如在医疗诊断、航空航天或者新能源领域的突破性进展。这本书的厚度也恰到好处,既不会让人望而却步,又能承载足够多的知识,相信阅读过程中会有满满的收获感,能够拓宽我对现代科技前沿的认知边界。

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我是一位对新材料和新工艺应用充满热情的科研工作者,MEMS封装技术是连接微观世界和宏观应用的关键桥梁。这本书的标题让我立刻联想到各种先进的封装材料,比如高性能聚合物、陶瓷基板以及金属合金等,以及它们在MEMS封装中的应用潜力。我希望书中能够深入探讨这些材料的物理化学性质,以及它们如何影响封装的密封性、热导率、电气性能和机械强度。同时,我也对一些创新的封装工艺,如扇出型晶圆级封装、玻璃扇出封装以及3D堆叠封装等非常感兴趣。如果书中能够提供这些工艺的原理、步骤和优势的详细介绍,并且能够结合具体的MEMS应用场景进行分析,那将对我非常有价值,甚至能启发我开发新的封装材料和技术,为MEMS产业的发展贡献力量。

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