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微机电系统设计与制造
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本社 作者
国防工业
译者
2005-12 出版日期
371 页数
32.00元 价格
丛书系列
9787118041217 图书编码

微机电系统设计与制造 在线电子书 图书标签: 专业   

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发表于2024-09-17

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微机电系统设计与制造 在线电子书 图书描述

本书概要地介绍MEMS的设计与制造，全书共分7章，内容包括：MEMS的概论，MEMS的设计，集成电路(IC)基本制造技术，MEMS的制造技术，微传感器，微执行器以及MEMS的应用及检测技术。

本书针对非微电子专业的高年级本科生和研究生学习MEMS技术之用。通过对本书的学习，使读者能够在集成电路制造技术方面，获得必要的知识，同时对MEMS的设计与制造有一个比较完整的了解，为开展MEMS的研究奠定必要的基础。

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