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出版者:電子工業齣版社

作者:弗蘭西拉

出品人:

頁數:444

译者:陳迪

出版時間:2006-1

價格:65.00元

裝幀:平裝

isbn號碼:9787121019814

叢書系列:

圖書標籤:

semiconductor
簡體中文
微加工
中國
MEMS
EE
22
2006

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微加工是集成電路、微傳感器、光子晶體、噴墨打印機、太陽能電池和平闆顯示器的關鍵技術，雖然微係統較復雜，但其基本微結構和微加工工藝還算簡單。本書介紹瞭怎樣多次應用普通的微加工方法製造含有各種結構和功能的器件。

　　本書包含瞭250道課外作業，使讀者熟悉微觀材料、尺度、測試、成本和縮放趨勢。本書包含瞭研究和製造兩個主題，重點是微加工的主體——矽材料。

　　本書將是想學習關於微結構和微加工技術的電子工程師、化學傢、物理學傢和材料科學傢的道選教材，可應用於微機電係統、微電子或相關新興的領域。

　　本書特點：基本加工工藝的全麵介紹；側重材料和結構，勝於器件物理；深入地討論工藝集成，展示工藝、材料和器件如何相互影響；包含大量概念上的和真實的器件例子。

　　21世紀將是微電子技術及其相關産業持續發展的新世紀，本書從微加工角度齣發，介紹瞭微加工的材料、基本工藝、結構、工藝集成、設備和製造等各個方麵。其中材料部分包括瞭矽、薄膜材料及其製備工藝和結構，基本工藝部分包括瞭薄膜製備、外延、光刻、刻蝕、熱氧化、擴散、離子注入、化學機械拋光（CMOS）、鍵閤、澆鑄和衝壓等，結構部分包括瞭自對準結構、等離子體刻蝕結構、濕法刻蝕的矽結構、犧牲層結構和沉積的結構，工藝集成部分包括瞭互補金屬氧化物半導體（CMOS）晶體管製作、雙極技術、多層金屬化和微機電係（MEMS）等，設備部分包括瞭熱工藝、真空和等離子體、化學氣相沉積和外延等設備，還介紹瞭微加工技術涉及的淨化室、成品率、晶圓廠、摩爾定律等。本書既介紹瞭微電子製造工藝技術，也涉及瞭微機電係統、微流體、微光學和納米技術等領域。

　　本書將是學習微結構和微加工技術的電子工程、化學、機械、物理和材料科學等領域的一本優秀教材，可就用於微電子、微機電係統、光電子或相關新興領域。