微執行器 在線電子書 圖書標籤: qqq
發表於2024-11-25
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微執行器是現代自動控製技術的關鍵技術。近年來,隨著微電子技術和微細加工工藝的快速發展,特彆是微納米技術的蓬勃興起,為微執行器的開研究提供瞭有力的技術支持。本書共分9章,係統闡述和介紹瞭微執行器中電磁型微馬達、光學執行器、微閥門、微型泵、生物微執行器、微機械執行器和化學執行器的基本原理、技術基礎、製造工藝和應用實例。
本書可供從事自動化領域及微納米技術研究的工程技術人員閱讀參考,也可作為大專院校中相關專業師生的參考書。
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