Photomask and X-Ray Mask Technology II

Photomask and X-Ray Mask Technology II pdf epub mobi txt 电子书 下载 2026

出版者:Society of Photo Optical
作者:Bacus (Technical Group)
出品人:
页数:0
译者:
出版时间:1995-04
价格:USD 94.00
装帧:Paperback
isbn号码:9780819418708
丛书系列:
图书标签:
  • Photomask
  • X-Ray Mask
  • Mask Technology
  • Semiconductor Manufacturing
  • Microfabrication
  • Lithography
  • Patterning
  • Materials Science
  • Optical Engineering
  • Nanotechnology
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具体描述

好的,这是一份关于一本与《Photomask and X-Ray Mask Technology II》内容无关,但同样聚焦于半导体制造和先进光学技术的图书简介: --- 《超精密光学元件制造与检测技术:从蓝宝石到下一代显示》 图书概述 本书深入探讨了现代精密光学系统,特别是涉及高精度表面形貌控制、复杂光学结构制造与亚纳米级表面粗糙度检测的关键技术。在半导体制造、先进成像系统和下一代显示技术快速发展的背景下,对光学元件的制造精度和性能要求达到了前所未有的高度。本书旨在为光学工程师、材料科学家以及相关领域的研究人员提供一个全面的技术框架,涵盖从材料选择到最终性能验证的全过程。 全书围绕“超精密”这一核心概念展开,详细解析了实现高精度光学加工的理论基础、前沿工艺和最新检测方法。内容聚焦于如何克服传统加工中的瓶颈,如表面损伤、残余应力、以及如何精确控制光学元件的波前畸变。 第一部分:超精密光学材料与设计基础 本部分奠定了理解超精密制造的基础。我们首先回顾了高性能光学玻璃、晶体材料(如熔融石英、氟化物玻璃)的特性,并扩展至新兴材料如蓝宝石和碳化硅(SiC)在极端环境和高功率应用中的潜力。重点分析了这些材料在应力敏感性、热膨胀系数和抗辐射损伤方面的表现。 随后,深入探讨了光学设计软件中的高级算法。讨论了如何利用梯度下降法和遗传算法优化复杂非球面和自由曲面(Freeform)的设计,以最小化残余像差。特别关注了衍射光学元件(DOE)的设计原理,包括基于傅里叶变换的光栅结构设计,以及如何优化其耦合效率和色散特性。 第二部分:先进超精密加工技术 这是本书的核心部分,详细阐述了当前最尖端的精密光学元件制造工艺。 2.1 亚纳米级表面成形技术: 磁流变抛光(MRF)技术: 深入解析了MRF的机理,包括磁场对纳米级磨粒分布的精确控制。重点讨论了如何通过优化抛光路径(Tool Path)和停留时间,实现对复杂曲面进行主动面形修正(Deterministic Correction),并展示了其在制造高精度平面和非球面镜片上的实例。 离子束加工(Ion Beam Figuring, IBF): 详细介绍了使用氩离子或氙离子束进行材料去除的过程。讨论了离子束的入射角、能量对去除率和表面损伤的影响。特别关注了IBF在后期精修、消除随机误差和实现超低RMS粗糙度方面的应用,包括如何精确控制表面损伤层厚度。 飞点铣削(Fly-Cutting)与超声波辅助加工: 针对金属和复合材料光学元件,分析了高速切削技术如何通过提高刀具振动抑制和进给控制,达到镜面光洁度。 2.2 复杂结构与微纳加工: 深紫外(DUV)和极紫外(EUV)光刻胶图形转移技术: 虽然本书不涉及光掩模制造的特定流程,但详细分析了用于在光学基底上形成微米和纳米级周期性结构的关键技术,如聚焦离子束(FIB)的刻蚀应用、电子束直写(E-beam Direct Writing)的精度极限,以及高深宽比结构的剥离和转移工艺。 等离子体刻蚀的各向异性控制: 探讨了反应离子刻蚀(RIE)和深反应离子刻蚀(DRIE)在制造具有精确侧壁角度的微透镜阵列和光栅结构时的工艺窗口。 第三部分:表面完整性与界面控制 光学元件的性能不仅取决于宏观形状,更严重依赖于其表面和亚表面质量。 表面损伤机制与抗性提升: 分析了激光诱导损伤(LIDT)的物理机制,包括热致盲、多光子吸收和电子带隙过程。介绍了通过介电多层膜的薄膜堆叠设计(如利用高折射率和低折射率材料的组合)来提升元件抗激光强度的策略。 先进镀膜技术: 详细描述了高精度薄膜沉积技术,如电子束蒸发、磁控溅射以及原子层沉积(ALD)。重点分析了如何通过精确控制沉积速率和环境气氛,实现膜层的低应力、高均匀性和优异的附着力,特别是在保护对环境敏感的材料(如硒化锌窗口片)方面。 第四部分:超精密计量与质量保证 精确的测量是实现超精密制造的闭环控制关键。 干涉计量学: 深入讲解了相移式干涉仪和相位敏感轮廓仪(PSC)的工作原理。详细分析了在测量高数值孔径(NA)元件时,如何通过优化参考波前和补偿大气扰动来提高测量精度和分辨能力。 纳米级表面形貌分析: 介绍了原子力显微镜(AFM)和散射测量技术(Scatterometry)在表面粗糙度、微粗糙度和周期性结构检测中的应用。讨论了如何将时间序列数据转化为空间频率域信息,以评估散射损失。 离线与在线检测: 探讨了将计量数据反馈到加工设备(如MRF或IBF系统)的闭环控制架构,实现对制造过程的实时修正,极大缩短了修正迭代周期。 目标读者 本书适合光学工程、精密仪器制造、材料科学、物理学以及微纳加工领域的本科高年级学生、研究生、工程师和研究人员。阅读本书无需具备高级光刻掩模制造的专业知识,但需要有扎实的物理光学和工程基础。

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目录信息

读后感

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用户评价

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当我第一次看到《Photomask and X-Ray Mask Technology II》这本书的书名时,我的脑海中立刻浮现出了无数个关于微观世界精确操控的画面。我是一名在半导体设计行业工作多年的工程师,深知掩膜版在芯片制造过程中扮演着“蓝图”的关键角色。光学掩膜,我们早已熟知其发展历程和技术瓶颈,但X射线掩膜,这个听起来就充满了神秘感和未来感的领域,却一直是我想深入了解却又缺乏系统性资料的知识盲点。《Photomask and X-Ray Mask Technology II》的出现,恰好填补了这一空白。我希望能在这本书中找到答案,了解X射线掩膜技术是如何在克服光学衍射极限方面展现出其独特的优势,以及它在制造下一代超高密度集成电路中可能扮演的角色。这本书的“II”也暗示着它可能在前作的基础上,进一步深化对技术的探讨,或者涵盖更广泛的应用场景。我特别期待能够了解X射线掩膜的制备工艺,例如使用的光刻技术(如电子束光刻、聚焦离子束光刻等)与光学掩膜制备有何不同,以及在材料科学方面,X射线掩膜需要具备哪些特殊的物理和化学性质。此外,掩膜的精度、稳定性和可靠性,以及相关的缺陷检测和修复技术,都是我非常关注的重点。我希望这本书不仅能讲解技术本身,还能给我带来一些关于行业发展趋势的洞察,让我能够更好地理解这项技术对未来半导体产业的影响。

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从我作为一个长久关注半导体材料和制造工艺发展的爱好者来看,《Photomask and X-Ray Mask Technology II》这本书的出现,简直就像是为我打开了一扇通往更高精度、更精细加工世界的大门。长久以来,我一直对光学掩膜技术在光刻过程中的作用有着深入的理解,但随着半导体技术的飞速发展,对特征尺寸的不断缩小,光学衍射的限制也日益凸显。此时,X射线掩膜技术,以其独特的波长优势,便成了克服这一挑战的有力武器。我极其渴望在这本书中能够深入探究X射线掩膜技术的核心原理,比如X射线是如何与掩膜材料相互作用,又是如何通过能量传输来刻画出电路图案的。我特别想了解,与传统的光学掩膜相比,X射线掩膜在材料选择、制备工艺、精度控制以及应用场景上,有哪些显著的差异和独特的优势。例如,能否介绍一下X射线掩膜的常用材料有哪些?它们的制备过程中涉及到哪些关键的技术难点?以及在实际的X射线光刻过程中,又需要解决哪些工程问题?我期待这本书能提供详实的技术细节和实例分析,让我能够全面地认识这项技术,并能将其与我已有的光学掩膜知识体系进行对比和整合。这本书的“II”也让我对内容的深度和广度充满期待,希望能更进一步地了解其在先进半导体制造中的应用前景和潜在挑战。

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在光刻技术日新月异的今天,特征尺寸的不断缩小对掩膜提出了前所未有的挑战,而《Photomask and X-Ray Mask Technology II》这本书的出版,无疑为我这样关注前沿技术发展的从业者提供了一个重要的参考。我一直在思考,当EUV光刻逐渐触及物理极限时,下一代更具突破性的技术将是什么。X射线掩膜技术,凭借其极短的波长,理论上可以实现远超光学光刻的纳米级分辨率,这让我对此技术充满了好奇。我希望这本书能够深入剖析X射线掩膜技术的理论基础,例如X射线与物质相互作用的物理过程,以及如何在掩膜上精确地构建能够选择性吸收或透射X射线的图案。我特别关注X射线掩膜材料的选择和制备过程,了解是否有特定的材料能够高效地吸收X射线,同时又能保持极高的精度和稳定性。同时,掩膜的转移过程,即X射线光刻机的工作原理和关键技术,也是我非常感兴趣的部分。这本书能否提供一些关于X射线掩膜在实际应用中的案例?例如,它在哪些特殊的芯片制造领域已经得到了应用,或者正在被积极研发?我相信,作为系列丛书的第二部,它必定在前作的基础上,更进一步地探讨技术的细节和发展趋势,也期待它能够为我提供一些关于未来半导体制造方向的启示,让我能够更好地把握行业脉搏。

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作为一名在材料科学领域的研究人员,我总是对那些能够将基本物理原理转化为实际应用的书籍抱有浓厚的兴趣,《Photomask and X-Ray Mask Technology II》这本书的书名,无疑触及了我关注的焦点。我一直对光刻技术及其相关的掩膜技术有着深入的了解,而X射线掩膜技术,则是我认为可能引领下一代超高密度集成电路制造的关键技术之一。我非常期待在这本书中能够获得对X射线掩膜技术更全面、更深入的认识,特别是关于其工作原理的详细阐述,例如X射线的衍射、吸收以及如何通过掩膜材料来控制这些过程。我迫切想了解X射线掩膜的制备工艺,包括常用的掩膜材料有哪些,它们的物理化学性质如何影响掩膜的性能,以及在制备过程中可能会遇到哪些技术难点和挑战。我尤其关注掩膜的精度控制、缺陷的检测与修复技术,因为这些都是确保最终芯片性能的关键。这本书的“II”字,也让我对其内容的深度和广度充满期待,或许它会提供一些关于X射线掩膜在特定材料(如高深宽比结构)或特殊应用(如三维集成)中的案例分析,这将极大地丰富我的知识储备。

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我对精密制造领域的书籍一直情有独钟,尤其是那些能够揭示底层科学原理并展示前沿技术应用的书籍。《Photomask and X-Ray Mask Technology II》这本书的书名,立刻吸引了我,因为它指向了一个我一直感到好奇但了解不够深入的领域——X射线掩膜技术。虽然我对光学掩膜技术的发展和在半导体制造中的作用有着相当的认识,但X射线掩膜技术似乎代表着一种更先进、更具突破性的方向,尤其是在应对越来越小的特征尺寸方面。我希望这本书能够详细解释X射线掩膜技术的核心原理,包括X射线的光学特性、其与不同材料的相互作用方式,以及如何通过掩膜实现高分辨率的图形转移。我尤其感兴趣的是X射线掩膜的制备过程,包括可用的掩膜材料、加工方法(如电子束光刻、聚焦离子束等),以及实现纳米级精度的关键技术。这本书的“II”意味着它可能在前作的基础上,进一步深化了技术探讨,或者涵盖了更多新的研究成果和应用案例。我非常期待能在这本书中找到关于X射线掩膜在未来半导体制造、微纳器件制造等领域的重要性和发展前景的深刻洞察。

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作为一名对微纳制造技术充满热情的研究生,我一直在寻找能够系统性梳理和深入分析各种掩膜技术发展的书籍,《Photomask and X-Ray Mask Technology II》这本书的书名,立刻就引起了我的极大兴趣。我深知光学掩膜技术在半导体制造中的重要性,但对于X射线掩膜技术,我的了解还相对有限,仅仅停留在理论层面。我期望这本书能够详细阐述X射线掩膜技术的原理,特别是它在克服光学衍射极限方面的独特之处。我很想知道,X射线掩膜是如何通过其特殊的材料和结构来实现高分辨率的图案转移的。这本书能否提供一些关于X射线掩膜制备的具体工艺流程?例如,常用的X射线掩膜材料有哪些?它们是如何被加工成具有纳米级精度的掩膜的?电子束光刻、聚焦离子束等先进加工技术在X射线掩膜制备中扮演着怎样的角色?此外,我非常关注掩膜的缺陷检测和修复技术,因为这些直接关系到芯片的良率。我希望能在这本书中找到关于X射线掩膜在这些方面的最新研究进展和实用技术。这本书的“II”也让我对其内容的深度和广度充满期待,或许它会涵盖更多的案例研究,或者深入探讨X射线掩膜技术在未来的3D IC、先进封装等领域的应用潜力。

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作为一名在纳米技术领域工作多年的研究人员,我始终对那些能够突破物理极限、实现更精细加工的技术充满敬畏。《Photomask and X-Ray Mask Technology II》这本书的书名,直接点燃了我对X射线掩膜技术这一前沿领域的探究欲。我深知光学掩膜技术在传统半导体制造中的关键作用,但随着工艺节点的不断推进,光学衍射效应带来的分辨率瓶颈日益凸显。X射线掩膜,凭借其极短的波长,为突破这一瓶颈提供了新的可能性。我非常希望这本书能够详细阐述X射线掩膜技术的核心科学原理,包括X射线与掩膜材料相互作用的机制,以及如何在掩膜上实现高精度、高对比度的图案刻画。我期待能够深入了解X射线掩膜的制备工艺,例如常用的掩膜材料种类、它们的特性以及如何通过先进的纳米加工技术(如电子束光刻、聚焦离子束等)来制造高精度的掩膜。同时,掩膜的缺陷检测与修复也是影响良率的关键环节,我希望这本书能提供关于X射线掩膜在这些方面的最新技术进展。这本书的“II”字也预示着内容的深度和广度,或许它会涵盖更多关于X射线掩膜在特定应用场景下的案例研究,或者对未来发展趋势进行更深入的探讨,这对于我理解这项技术的潜力和挑战至关重要。

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一直以来,我都在密切关注半导体制造技术的最新发展,而掩膜版技术作为其中的关键环节,其进步直接影响着芯片的性能和制造成本。《Photomask and X-Ray Mask Technology II》这本书的出现,对我来说,就像是推开了一扇通往未来制造技术的新大门。我深知光学掩膜技术在当今半导体产业中的核心地位,但随着技术向着更小的特征尺寸不断迈进,光学衍射效应带来的局限性也日益明显。X射线掩膜技术,凭借其极短的波长,在突破这一限制方面展现出巨大的潜力。我非常希望这本书能够深入浅出地讲解X射线掩膜技术的科学原理,包括X射线与物质相互作用的物理基础,以及如何利用这些原理来构建高分辨率的图案。我特别关注X射线掩膜的材料选择和制备工艺,比如有哪些材料适合作为X射线掩膜,它们的制备过程中需要用到哪些先进的纳米加工技术,以及如何保证掩膜的精度和稳定性。这本书的“II”也让我对其内容的专业性和前沿性充满期待,我希望它能为我提供关于X射线掩膜在未来半导体制造中的应用前景、技术挑战以及可能的发展方向的深刻洞见。

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这本《Photomask and X-Ray Mask Technology II》的出现,无疑为我这个长期沉浸在微电子制造领域,却始终觉得光学掩膜和X射线掩膜技术之间存在着某种难以言说的隔阂的读者,带来了极大的惊喜。我一直对如何将光线的精准控制转化为芯片上千丝万缕的电路结构感到着迷,但X射线掩膜那更深层次的物理原理和应用场景,总让我觉得有些遥不可及。这本书的标题本身就暗示着一种连接,一种从成熟的光学掩膜技术向更为前沿的X射线掩膜技术延伸和发展的路径。我期待它能揭示两者之间的技术渊源,是如何在不断追求更高分辨率、更小特征尺寸的道路上相互借鉴、相互促进的。更重要的是,我希望它能深入剖析X射线掩膜技术在当今和未来半导体制造中的独特优势,比如其在克服衍射极限方面的潜力,以及它在某些特殊材料或结构的制造中扮演的关键角色。作为一名有经验的读者,我深知一本优秀的技术书籍不应仅仅罗列技术细节,更应该提供一个清晰的技术演进脉络,让我能够理解这项技术为何以及如何发展到今天的地步,并且对未来的发展趋势有一个预判。这本书的第二部,也意味着前作已经为我打下了良好的基础,我期待它能够在此基础上,更深入地探讨技术细节,例如在掩膜材料的选择、制备工艺的精细度、缺陷检测和修复技术等方面,X射线掩膜技术是如何应对更为严苛的要求的。我迫不及待地想翻开它,看看它能否满足我内心深处对于这项尖端技术的好奇与求知。

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长久以来,我对微电子制造的每一个环节都抱有极大的好奇心,而掩膜版,作为连接设计与物理制造的桥梁,其重要性不言而喻。《Photomask and X-Ray Mask Technology II》这本书的书名,让我看到了技术演进的脉络,从熟悉的光学掩膜,延伸到更前沿的X射线掩膜。我一直关注着半导体行业对更高分辨率和更小特征尺寸的追求,而X射线掩膜技术,以其独特的物理特性,似乎是解决这一难题的未来方向之一。我非常渴望在这本书中找到关于X射线掩膜技术的基本原理的深入讲解,比如X射线的穿透性、衍射特性以及如何利用这些特性来实现精确的图案转移。我特别期待能了解到X射线掩膜的材料科学基础,有哪些材料能够有效地作为X射线掩膜的基底和吸收层,以及这些材料的制备过程是怎样的。此外,我也想知道X射线掩膜的加工精度是如何达到的,是否会涉及到一些我不太熟悉的精密加工技术。这本书的“II”也让我对内容的充实性和专业性充满信心,我期待它能提供更多关于X射线掩膜在实际应用中的挑战与解决方案,例如在掩膜的稳定性、寿命以及与X射线光刻机的匹配性等方面。

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