《微機械光子學(影印版)》簡介：光學MEMS是MEMS中的熱門領域，也是MEMS的重要發展方嚮之一。《微機械光子學(影印版)》係統論述瞭光學MEMS和微機械光子學，書中闡述瞭此領域的理論及實驗結果，並且介紹瞭多種器件及其應用。內容涉及激光二極管、共振傳感器、光鑷子等多種器件，最後，對微機械光子學的未來發展做瞭展望。
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