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气相沉积应用技术
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王福贞、马文存 作者
机械工业出版社
译者
2007-1 出版日期
411 页数
38.00元 价格
简裝本
丛书系列
9787111200659 图书编码

气相沉积应用技术 在线电子书 图书标签: 科学  PⅤD   

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发表于2024-11-23

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气相沉积应用技术 在线电子书 图书描述

本书在第1篇中全面阐述了化学气相沉积、物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积的技术基础、技术原理、新的沉积技术、工艺过程、设备配套、膜层质量检测和分析。在第2篇中介绍了气相沉积技术在工模具硬质涂层、防护涂层、光学薄膜、建筑镀膜玻璃、太阳能利用、集成电路制造、信息存储、显示器件、饰品装饰、塑料金属化和柔性基材的卷绕薄膜产品等方面的应用。本书内容丰富新颖，力求紧密联系实际。

本书可供从事气相沉积技术的工程技术人员、科技工作者、在校师生和工人阅读，也可以作为相关专业的参考书。

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