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Soft X-Rays and Extreme Ultraviolet Radiation

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David Attwood 作者
Cambridge University Press
譯者
1999-08-28 出版日期
486 頁數
USD 85.00 價格
Hardcover
叢書系列
9780521652148 圖書編碼

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發表於2024-11-04

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Soft X-Rays and Extreme Ultraviolet Radiation 在線電子書 圖書描述

This self-contained, comprehensive book describes the fundamental properties of soft x-rays and extreme ultraviolet (EUV) radiation and discusses their applications in a wide variety of fields, including EUV lithography for semiconductor chip manufacture and soft x-ray biomicroscopy. The author begins by presenting the relevant basic principles such as radiation and scattering, wave propagation, diffraction, and coherence. He then goes on to examine a broad range of phenomena and applications. The topics covered include EUV lithography, biomicroscopy, spectromicroscopy, EUV astronomy, synchrotron radiation, and soft x-ray lasers. He also provides a great deal of useful reference material such as electron binding energies, characteristic emission lines and photo-absorption cross-sections. The book will be of great interest to graduate students and researchers in engineering, physics, chemistry, and the life sciences. It will also appeal to practicing engineers involved in semiconductor fabrication and materials science.

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