具体描述
作为一本资料信息型参考书，《集成电路工艺中的化学品》共7章，内容包括序言、薄膜制备技术及化学品、晶片清洗技术及化学品、光刻技术及化学品、刻蚀技术及化学品、化学机械抛光技术及化学品、载气及其他化学品。2-6章的内容都与集成电路制造过程的关键技术领域相关。在各章的开始，提供了集成电路制造过程关键技术的概述、所涉及的化学反应机理等，然后详细提供工艺中用到的化学品的物理化学性质、应用描述、毒性及安全等相应信息。书中涉及了200多种化学品和气体，全书最后还列出了300余篇参考文献。
将半导体元件生产所需的化学品的有用信息和数据汇集在一起，以“化学品”为中心展开系统描述，提供的化学及工程知识将帮助读者理解电子化学品的关键性作用，在电子化学品和集成电路制造工艺之间搭建起连接的“桥梁”。 《集成电路工艺中的化学品》是微电子学研究工作者、从事集成电路制造的过程工程师、电子化学品研究开发者及生产供应企业的科技人员和其他相关人员及有兴趣读者的有价值的参考书。
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用户评价
这是一本令人惊叹的著作，它以一种罕见而宝贵的方式，将集成电路制造中至关重要的化学品世界展现在我们面前。我过去对化学品的了解仅限于一些基础概念，但这本书彻底颠覆了我的认知。它深入探讨了各种化学品在芯片生产过程中的关键作用，从最基础的清洁和抛光，到最精密的蚀刻和沉积。书中对每一种化学品的介绍都极其详尽，不仅仅是列出其化学式和基本性质，更重要的是，它深入剖析了这些化学品如何在特定的工艺条件下工作，如何与材料发生相互作用，以及它们对最终芯片性能的细微影响。例如，在讨论用于晶圆清洗的化学品时，书中详细介绍了不同清洗方法的原理，以及不同清洗剂的成分和它们如何去除表面污染物，同时又不会对晶圆造成损伤。我还对书中关于化学机械抛光（CMP）的章节印象深刻，它详细解释了CMP浆料的组成，以及其中的研磨剂、氧化剂和稳定剂是如何协同工作，实现纳米级别的表面平整度。作者的语言极其专业，但又充满了洞察力，他能够将复杂的化学过程描述得清晰易懂，让即使是非化学专业背景的读者也能茅塞顿开。这本书不仅仅是一部关于化学品的字典，更是一本关于工艺智慧的百科全书，它让我看到了集成电路制造背后那精密而迷人的化学艺术。
评分这本书的封面设计简洁大气，让人一眼就能感受到其专业性。我原本以为会是一本偏向技术手册的硬核读物，没想到翻开后，其内容之丰富，涉及面之广，着实令人惊喜。它不仅仅局限于某一种具体的化学品，而是将目光投向了整个集成电路制造过程中所必需的各种化学物质。从最基础的清洗剂、蚀刻剂，到光刻胶、显影液，再到各种辅助材料，书中几乎涵盖了芯片生产线上遇到的所有关键化学品。作者在介绍每一种化学品时，都力求详尽，不仅阐述了其化学原理和作用机理，还深入分析了其在特定工艺步骤中的重要性，以及对最终产品性能的影响。例如，在介绍高纯度试剂时，书中详细列举了不同等级的纯度标准，以及微量杂质如何导致良率下降。我尤其欣赏的是，书中并非简单地罗列数据，而是将枯燥的化学知识与生动的工艺流程相结合，使得即使是初学者，也能对集成电路的复杂制造过程有一个清晰的认识。书中穿插的图表和案例分析，更是锦上添花，帮助读者更直观地理解抽象的概念。它让我意识到，在光鲜亮丽的电子产品背后，是无数种化学物质在精密协作，共同成就了现代科技的奇迹。这本书的深度和广度，绝对是那些希望深入了解芯片制造幕后故事的工程师、研究人员，甚至是对此领域充满好奇心的普通读者的宝藏。
评分我购买这本书，原本是抱着学习集成电路制造流程中基础化学知识的目的。然而，当我真正开始阅读时，我却被书中对化学品背后“故事”的挖掘所深深吸引。它不仅仅是罗列了集成电路制造过程中涉及到的各种化学品，更重要的是，它深入探究了这些化学品的起源、发展，以及它们如何在工艺中扮演不可或缺的角色。书中对每一种化学品的介绍，都像是在讲述一个独立的小传记，包含了它的物理化学性质、制备方法、在不同工艺步骤中的具体应用，以及相关的安全和环保考量。例如，在介绍蚀刻液时，书中不仅仅讲解了不同蚀刻液（如酸蚀、碱蚀、干法蚀刻）的化学原理，还对比了它们各自的特点、适用范围以及对工艺精度的影响，并穿插了历史上一些重要的蚀刻技术突破。令我印象深刻的是，书中对“超净环境”下的化学品使用也进行了详细的阐述，从试剂的储存、运输到使用过程中的各种注意事项，都体现了作者严谨的科学态度。这本书让我明白，集成电路制造并非简单的堆砌，而是一门高度精密的化学艺术，每一种化学品都经过了无数次的实验和优化，才能在微观世界里发挥其独特的作用。它不仅是一本技术书籍，更是一本关于化学工程师们如何用智慧和汗水，塑造我们数字世界的精彩画卷。
评分坦白说，我在打开这本书之前，对于“集成电路工艺中的化学品”这一主题，我的概念非常模糊，甚至有些畏惧。我总觉得这是一个极其专业且晦涩的领域，普通人很难理解。然而，《集成电路工艺中的化学品》这本书，以一种出人意料的方式，让我爱不释手。它的叙述方式更像是一部引人入胜的故事，讲述着各种化学品如何在微观世界里，上演着一场场精彩绝伦的“表演”。书中并没有一股脑地堆砌数据和公式，而是通过生动的语言和详实的案例，将每一个化学品的功能和作用娓娓道来。比如，在介绍光刻工艺时，书中并没有直接跳到化学反应，而是先从光刻胶的“画像”开始，描述它如何在特定波长的光下发生变化，然后又是如何被显影液“洗礼”，最终在硅片上留下精确的图案。我尤其喜欢书中关于“纯度”的章节，作者详细阐述了为什么集成电路制造对化学品的纯度有着近乎苛刻的要求，以及微量的杂质可能带来的毁灭性后果。这种从“为什么”到“是什么”的逻辑推进，让我感觉自己是在一步步解开谜团，而不是被动地接受信息。这本书的价值在于，它将那些隐藏在光鲜电子产品背后的“幕后英雄”——各种化学品，赋予了生命和故事，让我看到了科技进步的背后，是如此多精妙绝伦的化学智慧。
评分当我拿到这本《集成电路工艺中的化学品》时，我的第一反应是它的学术性可能非常强，可能会充斥着大量的专业术语和晦涩难懂的公式。然而，事实证明我的担忧是多余的。这本书的行文风格非常流畅，作者仿佛是一位经验丰富的老师，循循善诱地引导读者一步步走进化学的世界。它并非一股脑地抛出所有信息，而是有条不紊地进行讲解，从宏观的工艺流程入手，再逐步深入到每一个环节所使用的具体化学品。例如，在讲述光刻工艺时，书中不仅详细介绍了光刻胶的成分、特性，还详细分析了不同类型光刻胶的优劣势，以及它们如何与曝光光源、显影液相互作用，最终决定了电路的精度。更令人印象深刻的是，作者在解释化学反应机理时，并没有采用过于复杂的理论推导，而是通过生动的类比和形象的图示，将复杂的化学过程变得易于理解。读完关于蚀刻剂的部分，我才真正理解了为什么不同的材料需要不同的蚀刻液，以及如何通过控制蚀刻参数来获得理想的图形。这本书的价值不仅仅在于它所包含的信息量，更在于它传递知识的方式，它让化学不再是冰冷的公式，而是鲜活的、与我们息息相关的技术。我感觉自己像是在进行一次探险，每一次翻页都充满了发现新大陆的喜悦，也让我对集成电路这个看似遥不可及的领域有了更接地气的认识。
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