《半導體集成電路製造技術》主要講述半導體集成電路的製造技術，既有基本原理和工藝技術的闡述，也有國內外近期發展狀況的介紹。《半導體集成電路製造技術》根據半導體集成電路的基本原理和內部結構以及版圖設計，通過半導體材料製備、化學清洗、薄膜沉積、NP摻雜、光刻、金屬化處理、生産整閤與自動化等工藝整閤，講解集成電路的製造技術。《半導體集成電路製造技術》可作為高等院校微電子學和半導體專業本科生的教材，也可供有關專業本科生、研究生及工程技術人員閱讀參考。
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