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硅微机械加工技术
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M.埃尔温斯波克 作者
化学工业出版社
胡真 译者
2007-5 出版日期
348 页数
58.00元 价格
丛书系列
9787502592585 图书编码

硅微机械加工技术 在线电子书 图书标签: 半导体制造   

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发表于2024-11-29

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硅微机械加工技术 在线电子书 图书描述

英国剑桥大学出版社出版的《Silicon Micromachining》是一本关于微系统加工工艺方面的专著，作者M.Elwenspoek和H.Jansen等人从事过多年微系统加工工艺方面的研究工作，具有非常丰富的研究经验。本书的主要内容包括：（1）硅的湿法腐蚀工艺及其物理机制的描述；（2）硅的表面微机械加工技术；（3）LIGA工艺；（4）硅——硅直接键合工艺；（5）硅的干法腐蚀工艺及物理机制等，涵盖了微机械系统加工工艺中的主要内容，而且其内容经过多次修订，并在法国和英国等大学试用。本书基本概念清楚，具有一定参考价值，适合MEMS领域工程技术人员、研究生和高年级本科生阅读和使用。

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