电子电路基础 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2026

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出版者:

作者:刘宝玲 编

出品人:

页数:448

译者:

出版时间:2013-1

价格:41.90元

装帧:

isbn号码:9787040364194

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好的，这是一本名为《现代光刻技术前沿》的图书简介。 --- 图书名称：现代光刻技术前沿 ISBN： 978-7-111-68542-1 定价： 188.00 元 作者： 李明 教授，张伟 博士 出版社： 机械工业出版社 --- 内容简介 在信息技术飞速发展的今天，集成电路（IC）作为现代社会的基石，其性能的提升与成本的降低，越来越依赖于制造工艺的进步。而光刻技术，作为半导体制造中最核心、技术壁垒最高的环节，直接决定了芯片的集成度、速度和功耗。本书《现代光刻技术前沿》深入剖析了当前及未来光刻领域的前沿技术、关键挑战与发展趋势，旨在为光刻工程师、半导体研发人员、高校师生以及相关设备制造商提供一本全面、深入且具有实践指导意义的参考书。 本书内容紧密围绕全球半导体产业对更小特征尺寸、更高精度、更低缺陷率的永恒追求展开，聚焦于当前主流的深紫外（DUV）光刻技术的高级应用，并对极紫外（EUV）光刻技术进行了详尽的阐述。全书结构严谨，逻辑清晰，既有深厚的理论基础，又不乏对工程实际问题的深刻洞察。 第一部分：光刻技术基础与系统集成 本部分首先回顾了光刻技术的基本原理，包括光刻胶的化学反应机理、光学成像过程的傅里叶光学分析，以及关键参数如分辨率、套刻精度和工差分析的数学模型。重点在于建立对光刻系统整体性能的系统性理解。 随后，详细介绍了光刻系统的四大核心组件：光源、光学系统（物镜和照明系统）、光掩模（Mask）以及光刻胶。尤其对先进光源技术，如ArF液浸光源的升级路径和高数值孔径（NA）物镜的设计优化进行了深入探讨。我们着重分析了如何通过系统集成优化，克服衍射极限带来的挑战，实现更高精度的图案转移。 第二部分：先进DUV光刻的挑战与突破 随着制程节点进入28纳米以下，双重曝光（LELE, SAQP等）和多重曝光（Multiple Patterning）技术成为主流。本书将大量篇幅用于分析这些复杂曝光策略的实施难度、成本增加以及缺陷控制的必要性。 关键内容包括： 1. OPC（Optical Proximity Correction，光学邻近效应校正）： 探讨了从规则辅助图形到基于模型的全套片（Model-Based OPC）的发展历程，分析了如何精确预测和补偿光刻过程中的非线性效应，特别是对线边缘粗糙度（LER）和关键尺寸均匀性（CDU）的影响。 2. 先进光刻胶技术： 介绍了抗反射层（BARC）的设计优化、高分辨率光刻胶的化学放大机制（CAR），以及提高光刻胶对短波长光敏感度的化学结构设计。我们还讨论了先进清洗和去胶工艺对后续薄膜沉积和刻蚀过程的兼容性要求。 3. 计量与检测（Metrology and Inspection）： 在多重曝光流程中，中间过程的精确计量和缺陷检测至关重要。本书详细介绍了基于散射测量（Scatterometry）、扫描电子显微镜（SEM）的CD测量技术，以及高灵敏度缺陷检测系统（如AOI）在应对纳米级缺陷方面的最新进展。 第三部分：极紫外光刻（EUV）的深度解析 EUV光刻是实现3纳米及以下制程的关键技术。本部分是全书的重点和难点，致力于全面揭示EUV技术的复杂性和突破性进展。 EUV系统挑战与解决方案： 真空环境与光源： 详细阐述了EUV光源（激光等离子体LPP）的产生机理、能量收集与传输效率的瓶颈，以及对工作环境的超高真空要求。 反射光学系统： 由于所有材料在13.5 nm波长下均强吸收，EUV系统完全依赖多层反射镜。本书深入分析了Mo/Si多层膜的理论设计、制造公差对反射率的影响，以及误差源的校正技术。 掩模技术（Reticles）： EUV掩模的制造涉及吸附层、缺陷修补和极高精度的图案沉积。我们探讨了掩模污染、静电荷积累以及如何通过先进的掩模缺陷管理来保证良率。 对准与套刻： 在EUV曝光中，对准系统（Alignment System）需要极高的精度来补偿基板的微小形变。本书分析了先进的在机对准技术（In-situ Alignment）和反馈控制机制。 第四部分：未来展望与新兴技术 除了对主流技术的深入分析，本书还展望了光刻技术向更深层次发展的方向。 1. 高数值孔径（High-NA）EUV： 作为EUV技术的下一代演进，High-NA系统的光学设计、掩模形变控制和曝光模型复杂度显著增加。本书提供了对High-NA系统关键性能指标（如分辨率和场曲）的预测性分析。 2. 下一代光刻技术探讨： 对纳米压印光刻（NIL）、电子束光刻（EBL）的优化应用，以及X射线光刻等潜在替代方案进行了评估，重点讨论了它们在特定应用场景（如存储器制造或小批量、高精度器件）中的可行性和工程化前景。 适用读者 本书面向具有一定物理或电子工程背景的读者。它非常适合于： 半导体制造企业（Foundry/IDM）的光刻、工艺集成、设备研发工程师。 从事微纳加工技术研究的研究生和博士后。 高等院校电子工程、材料科学、物理学等专业的本科生和研究生教材或参考书。 精密光学、真空技术等相关领域的工程师和技术人员。 通过阅读本书，读者将不仅掌握光刻技术的当前前沿知识，还能为未来半导体制造工艺的持续演进做好理论和实践上的充分准备。

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这本书简直就是打开了我新世界的大门！之前我对电子这块一直是一知半解，感觉非常晦涩难懂。但自从翻开《电子电路基础》之后，我感觉自己仿佛置身于一个清晰明朗的电子元件王国。作者的叙述方式非常别致，不是那种枯燥乏味的理论堆砌，而是像在讲述一个个生动的故事。他会从最基础的电荷、电流概念讲起，然后循序渐进地引入电阻、电容、电感这些“老朋友”。最让我惊喜的是，他并没有直接抛出复杂的公式，而是用了很多形象的比喻，比如把电流比作水流，把电阻比作管道的粗细，瞬间就把抽象的概念具象化了。我之前一直对串联和并联电路感到头疼，但这本书通过画图和实际例子，把它们之间的区别和联系讲得明明白白。尤其是对基尔霍夫定律的讲解，我之前觉得高不可攀，现在居然能理解其中蕴含的逻辑了。而且，书中还穿插了一些小型的实验讲解，虽然我还没有亲手去实践，但光是看文字描述，就能脑海里勾勒出电路工作的场景，感觉离实际操作又近了一步。这本书真的让我对电子电路产生了浓厚的兴趣，不再是那个敬而远之的“技术宅”领域了。

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我原本以为《电子电路基础》会是一本干巴巴的教科书，充斥着冰冷的公式和图表。但实际上，这本书更像是一本引人入胜的电子科学启蒙读物。作者的笔触充满了热情和启发性，他并没有把电子电路描绘成一个只有专业人士才能理解的神秘领域，而是巧妙地将其与我们的生活紧密联系起来。我尤其喜欢他讲解如何分析简单电路的章节，不是那种生硬的套用公式，而是通过引导性的提问和逐步分析，让我自己去发现规律。例如，在讲解电压和电流的关系时，他会先设问“如果电阻变大，电流会怎样变化？”，然后引导我们思考，最终得出欧姆定律的结论。这种“授人以渔”的方式，让我学到的知识更加牢固。而且，书中并没有一味地强调理论，还穿插了一些非常实用的电路设计思维，比如如何考虑元件的功耗，如何进行简单的故障排查等等。这些内容对于像我这样的初学者来说，能够帮助我建立起一个初步的工程思维框架，让我知道在学习理论的同时，也要关注实际应用中的一些关键问题。这本书的排版也非常舒适，图片清晰，注释到位，阅读体验非常好。

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我一直认为电子电路是一个非常复杂的学科，充满了各种抽象的概念和难以理解的公式。因此，我在阅读《电子电路基础》之前，就做好了“啃硬骨头”的心理准备。然而，这本书的出现，完全颠覆了我对电子电路的认知。作者以一种非常独特的视角，将枯燥的理论变得生动有趣。他没有直接抛出艰深的数学模型，而是从更宏观的层面入手，先讲解电子元件的“性格”，比如电阻的“固执”，电容的“储能能力”，电感的“抗拒变化”。这种拟人化的描述，让我一下子就对这些元件产生了亲切感。然后，他再逐步深入到具体的电路分析，但依然保持着清晰的逻辑和通俗的语言。我尤其喜欢他讲解放大电路的部分，通过形象的比喻，将信号的放大过程描绘得如同化学反应一般，让我理解起来不再吃力。而且，这本书并没有局限于理论层面，还涉及了一些基础的测量方法和仪器使用，这让我感觉自己不仅仅是在学习理论，更是在学习一门实践性的技术。这本书让我对电子电路的学习充满了信心，也让我看到了掌握这门技术所带来的巨大可能性。

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说实话，我拿到《电子电路基础》的时候，并没有抱太高的期望。我之前对电子电路有过一些接触，但总感觉理解得不够深入，很多概念都是似懂非懂。我希望能在这本书里找到一些能够帮助我“顿悟”的闪光点。而这本书，确实没有让我失望。作者在讲解中，非常注重理论的严谨性和逻辑的连贯性。他不会轻易跳过任何一个关键步骤，而是会详细地解释每一个概念的由来和意义。我特别喜欢他对晶体管工作原理的讲解，之前我总是觉得它很神奇，能够放大信号，但具体是怎么做到的，一直是个谜。这本书通过深入浅出的方式，从PN结的形成讲起，层层剖析，让我终于明白了三极管为什么能够起到放大作用。而且，书中还涉及了一些基础的数字电路知识，虽然只是初步介绍，但已经让我对逻辑门、触发器这些概念有了一个初步的认识。这让我感到非常振奋，因为我知道，这为我进一步学习更高级的电子技术打下了坚实的基础。总而言之，这本书的深度和广度都让我非常满意，是一本值得反复阅读的参考书。

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我必须承认，我最初拿到《电子电路基础》的时候，心里其实是有些打鼓的。我对理工科一直不太感冒，对电路这种东西更是充满了畏惧感。我以为这本书会充斥着各种复杂的数学公式和晦涩的专业术语，把我逼入绝境。然而，事实证明我的担忧是多余的。这本书的写作风格异常亲民，作者仿佛一位经验丰富的导师，耐心地引导着我这个“小白”。他并没有一开始就甩出难懂的定理，而是从我们日常生活中常见的电器入手，比如为什么手机充电器会发热，电风扇为什么能转动等等，这些贴近生活的话题瞬间拉近了我与电子世界的距离。然后，他才缓缓地将我们引入到电路的基本概念中。他善于运用类比和图示，将那些抽象的物理原理解释得通俗易懂。例如，在讲解二极管的单向导电性时，他用一个只能单向通行的门来比喻，让我一下子就明白了它的作用。整本书的逻辑也非常清晰，从最简单的电路元件到稍微复杂一点的组合，层层递进，不会让人感到突兀。最让我印象深刻的是，书中并没有刻意回避一些工程上的考量，比如元件的选型、电路的优化等方面，虽然没有深入探讨，但这些信息对于初学者来说是非常宝贵的，让我看到了理论与实践的联系。

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别指望新生能一遍读懂，读个四五遍，将就着用吧。

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