《薄膜物理與技術》為電子材料與元器件專業本科專業基礎教材，也可供物理電子技術、半導體物理與器件、應用物理、敏感材料與傳感器等專業的本科生和研究生，以及從事薄膜材料、薄膜物理、薄膜技術和電子材料與元器件、混閤微電子技術等廠所的工程技術人員使用和參考。薄膜物理與薄膜技術均是正在發展的學科與技術，有關薄膜的性質，薄膜形成機理的某些內容還處於探討中，薄膜技術也在不斷發展與完善之中；因此，《薄膜物理與技術》隻能著重介紹薄膜物理與薄膜技術的基本內容，不可能對這兩大部分的廣闊而豐富的內容作全麵而詳盡的論述。
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