本書介紹瞭應用COMSOL Multiphysies有限元軟件建立MEMS模型的基本方法和過程,並輔以典型MEMS建模實例,圖文並茂。全書共分5章,第1章概述瞭MEMS基本概念和有關COMSOL Multiphysies軟件中MEMS建立模型的基本過程;第2章以6個典型模型為藍本,詳細介紹瞭MEMS建模的一般方法;第3、4、5章分彆介紹瞭微傳感器、微通道、微壓電裝置的MEMS建模方法和過程。書中引用的模型實例均為有關領域專傢、學者開發,具有高度的可靠性。 本書可供MEMS研究人員和愛好者,以及高等院校相關專業師生閱讀、參考。
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