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微傳感器MEMS與智能器件
☆☆☆☆☆
簡體網頁||繁體網頁
加德納 作者
中國計量
譯者
2007-9 出版日期
477 頁數
78.00元 價格
叢書系列
9787502625573 圖書編碼

微傳感器MEMS與智能器件 在線電子書 圖書標籤: 傳感器  教材   

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發表於2024-09-16

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微傳感器MEMS與智能器件 在線電子書 著者簡介

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微傳感器MEMS與智能器件 在線電子書 圖書描述

微傳感器和MEMS(微電子機械係統)正在使半導體工業領域發生一場新的變革。微係統也稱為”芯片係統”，將微電子電路和微傳感器及微執行器組閤起來。這一新興領域已經顯示齣它們在應用中未來發展的廣闊前景，應用範圍從電子鼻和智能耳到微型鑷子及打印機噴墨頭。 本書全麵地介紹瞭微傳感器的製作工藝，是一部論述微傳感器、MEMS和智能器件成功應用的重要專著。 內容包括： 傳統和新型製作工藝介紹．包括矽的體微機械加工、微立體光刻和聚閤物加工工藝。 重點介紹IDT(叉指式換能器)微傳感器在開發低能耗、無綫MEMS或微機械中的應用。 本書涵蓋瞭智能器件的最新應用，包括電子鼻、舌、手指，以及智能傳感器和智能結構．如智能皮膚。 通過傳感器陣列、傳感器信號的參數補償和專用集成電路技術的應用，對智能敏感器件的發展做瞭概述。 綜閤附錄介紹瞭MEMS的材料主要特性、相關網址和本領域中重要的研究機構。 本書有助於讀者增進對微係統的理解。其適宜讀者群為研究生、微電子專業的研究人員、微傳感器係統工程師和開發人員。書中對材料特性的詳細介紹，對機械工程師、物理和材料專業工作者具有重要的參考和實用價值。

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