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Post-Processing Techniques for Integrated MEMS

简体网页||繁体网页
Sedky, Sherif 作者
Artech House
译者
出版日期
207 页数
$ 111.87 价格
HRD
丛书系列
9781580539012 图书编码

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发表于2025-01-10


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Post-Processing Techniques for Integrated MEMS 在线电子书 图书描述

The reduction of size in mechanical systems results in a dramatic decrease of power consumption and cost, while greatly improving performance and reliability. For this reason MEMS (microelectromechanical systems) has become of great interest to electrical engineers working in a wide range of application areas, from DNA analysis and medical applications, to digital projection displays and imaging, This cutting-edge book focuses on a the critical process of integrating MEMS with standard pre-processed electronics. It provides engineers, working in a variety of fields, with an innovative process and specific techniques for effectively achieving this integration and taking advantage of the many performance benefits of using MEMS technology in their systems.

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