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Fundamentals of Nanoscale Film Analysis

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Alford, Terry L./ Feldman, Leonard C./ Mayer, James W. 作者
Springer Verlag
譯者
2007-2 出版日期
350 頁數
$ 123.17 價格
HRD
叢書系列
9780387292601 圖書編碼

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發表於2024-11-08

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Fundamentals of Nanoscale Film Analysis 在線電子書 圖書描述

From materials science to integrated circuit development, much of modern technology is moving from the microscale toward the nanoscale. This book focuses on the fundamental physics underlying innovative techniques for analyzing surfaces and near-surfaces. New analytical techniques have emerged to meet these technological requirements, all based on a few processes that govern the interactions of particles and radiation with matter. This book addresses the fundamentals and application of these processes, from thin films to field effect transistors.

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