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The Physics of Moire Metrology

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Kafri, Oded/ Glatt, Ilana 作者
John Wiley & Sons Inc
译者
1990-1 出版日期
194 页数
140 价格
HRD
丛书系列
9780471509677 图书编码

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发表于2024-11-27


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The Physics of Moire Metrology 在线电子书 图书描述

This one volume treatise presents a comprehensive discussion of moire metrology analysis. The authors work from a new point of view, treating the gratings used in moire analysis as an artificial analog to electromagnetic waves, thereby comparing moire analysis with conventional optical methods based on wave properties such as interferometry. It is shown that for every interferometric technique in metrology, there is an analogous technique in moire metrology and vice versa, and that scientists involved in optical metrology have a real choice between interferometric and moire methods.

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