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The Physics of Moire Metrology 在线电子书 pdf 下载 txt下载 epub 下载 mobi 下载 2024

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Kafri, Oded/ Glatt, Ilana 作者

John Wiley & Sons Inc

译者

1990-1 出版日期

194 页数

140 价格

HRD

丛书系列

9780471509677 图书编码

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发表于2024-11-13

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The Physics of Moire Metrology 在线电子书图书描述

This one volume treatise presents a comprehensive discussion of moire metrology analysis. The authors work from a new point of view, treating the gratings used in moire analysis as an artificial analog to electromagnetic waves, thereby comparing moire analysis with conventional optical methods based on wave properties such as interferometry. It is shown that for every interferometric technique in metrology, there is an analogous technique in moire metrology and vice versa, and that scientists involved in optical metrology have a real choice between interferometric and moire methods.

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