微機電係統基礎 在線電子書 圖書標籤:
發表於2024-12-27
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《微機電係統基礎(英文版)》全麵論述瞭微機電係統(MEMS)的基礎知識,涵蓋瞭MEMS技術的主要方麵,同時引用瞭經典的MEMS研究論文的前沿的研究論文,為學生深入學習MEMS技術提供瞭指引。書中提煉瞭四個典型的傳感器實例;慣性傳感器、壓力傳感器、流量傳感器和觸覺傳感器,並介紹瞭利用不同原理、材料和工業製造這些傳感器的方法,既便於比較,又可以啓發學生的創新意識並提高創新能力。
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