《微係統設計與製造》介紹微係統的基礎理論、分析設計方法和製造技術，以及前沿應用領域的多種典型器件，主要內容包括：微係統基本力學、微係統製造技術、微型傳感器、微型執行器、射頻微係統（PF MEMS)、光學微係統（MOEMS)、生物醫學微係統（BioMEMS)以及微流體與芯片實驗室。《微係統設計與製造》強調設計與製造相結閤、基礎與前沿相結閤，在基礎理論和製造技術的基礎上，深入介紹典型器件的設計和製造方法以及重點和前沿應用研究領域，力爭展示微係統的全貌。微係統（MEMS是一門多學科高度交叉的前沿學科領域，其設計、製造和應用廣泛涉及到物理學、化學、力學、微電子學、、光學、生物醫學、和控製工程等多個學科。
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