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新型表面形貌测量仪器
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杨练根 作者
科学
译者
2008-2 出版日期
208 页数
38.00元 价格
丛书系列
9787030210425 图书编码

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发表于2025-06-05

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新型表面形貌测量仪器 在线电子书 图书描述

《新型表面形貌测量仪器》首先系统地对表面形貌测量仪器的发展进行了综述，然后从原理、结构、信号处理、软件设计等方面论述了基于微恒力位移传感器的表面形貌测量系统、基于激光聚焦伺服式传感器的轮廓仪、基于激光干涉测量的轮廓仪等三种表面形貌测量仪器，最后论述了表面形貌测量仪器的关键部件——运动工作台。全书力求具有创新性、实用性和先进性。

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