新型表面形貌测量仪器

新型表面形貌测量仪器 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025

出版者:科学
作者:杨练根
出品人:
页数:208
译者:
出版时间:2008-2
价格:38.00元
装帧:
isbn号码:9787030210425
丛书系列:
图书标签:
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《新型表面形貌测量仪器》首先系统地对表面形貌测量仪器的发展进行了综述,然后从原理、结构、信号处理、软件设计等方面论述了基于微恒力位移传感器的表面形貌测量系统、基于激光聚焦伺服式传感器的轮廓仪、基于激光干涉测量的轮廓仪等三种表面形貌测量仪器,最后论述了表面形貌测量仪器的关键部件——运动工作台。全书力求具有创新性、实用性和先进性。

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