《微电子技术:信息化武器装备的精灵》在概述微电子技术〔含三代半导体及大规模集成电路〕的全貌和发展趋势之后,首先阐述了各类微电子基本器件技术,然后按半导体制造工程顺序分别叙述大规模集成电路从设计、工艺、生产到封装、测试、可靠性等较全面的系列知识和先进技术,并重点突出新型的SoC技术和MEMS技术,最后介绍了通用微电子器件重点门类及应用。《微电子技术:信息化武器装备的精灵》反映了微电子学主要研究领域里学科发展的前沿技术。
读者对象:从事军、民电子信息技术及与半导体有关联业务的广大读者,微电子技术领域的研究部门、教育部门、产业部门、国防工业部门的大专以上科技人员,以及大专及以上院校相关专业师生。
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