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微机电系统与微细加工技术
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作者
译者
2008-5 出版日期
227 页数
30.00元 价格
丛书系列
9787811332384 图书编码

微机电系统与微细加工技术 在线电子书 图书标签: 微机电   

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发表于2024-11-08

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微机电系统与微细加工技术 在线电子书 图书描述

《微机电系统与微细加工技术》对微机电系统技术和微细加工技术进行了介绍。全书共分五章，包括微机电系统和微细加工技术的发展趋势，对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍和讨论。《微机电系统与微细加工技术》可作为机械工程类或其他工程类本科生、研究生课程的教材，也可以作为其他有关技术人员了解微机电系统与微制造技术的参考书籍。

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