《薄膜製備技術基礎》較為係統、全麵地介紹瞭與薄膜製備技術相關的各種基礎知識,涉及瞭薄膜製備係統、典型的物理製膜與化學製膜方法、薄膜加工方法,以及常用的薄膜性能錶徵技術,同時緊密結閤當前薄膜領域最先進的技術、方法和裝置。原外版書作者長期在薄膜科學與技術領域從事研究、開發和教育工作,有豐富的工作經驗與廣博的專業知識。《薄膜製備技術基礎》自初版以來,已有三十餘年,迄今已4次再版,反映瞭《薄膜製備技術基礎》在這一領域具有較為深遠的影響。
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