纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究 在线电子书 pdf 下载 txt下载 epub 下载 mobi 下载 2024
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发表于2024-11-09
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导师的博士论作，也是目前我所作的论文方向。压力传感器是多应用于航天航空。
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纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究 在线电子书 图书描述
《纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究》在温殿忠教授提出的JFET压／磁电效应基本理论基础上，给出MOSFETs压／磁多功能传感器在外加压力P≠O、外加磁场B=O；外加压力P≠O、外加磁场B=O；外加压力P≠O、外加磁场8≠O；外加压力P≠O、外加磁场B≠O四种情况下的基本理论分析。采用CMOS工艺和MEMS技术设计、制作以纳米硅／单晶硅异质结为源极(S)和漏极(D)的MOSFETs压／磁多功能传感器。《纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究》设计、制作的纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs压／磁多功能传感器能够完成压力和磁场的检测，具有良好的压敏特性和磁敏特性，可实现压／磁检测的集成化和一体化，对传感器的小型化、多功能化、集成化和一体化发展具有重要意义。
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