《微機電係統設計與加工》是MEMS係列圖書的一本，主要介紹MEMS技術中材料和加工方麵的知識。內容包括：MEMS中的材料，MEMS製造，LIGA及其微模壓，基於X射綫的加工，EFAB技術及其應用，單晶SiC MEMS製造、特性與可靠性，用於碳化矽體微加工的等離子體反應深刻蝕，聚閤物微係統：材料和加工，光診斷方法考察微流道的入口長度，應用於航空航天的微化學傳感器，惡劣環境下的MEMS器件封裝技術，納機電係統製造技術，分子自組裝基本概念及應用。
《微機電係統設計與加工》主要麵嚮MEMS專業的高年級本科生和研究生，也可供MEMS技術研究人員參考。
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