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Seebauer, Edmund G. (EDT)/ Felch, Susan B. (EDT)/ Jain, Amitabh (EDT)/ Kondratenko, Y. V. (EDT) 作者

译者

2008-12 出版日期

576 页数

$ 292.67 价格

丛书系列

9780735405974 图书编码

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发表于2024-11-25

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Ion Implantation Technology 在线电子书图书描述

The conference is focused on recent advances and emerging technologies in semiconductor processing before, during and after ion implantation. The content encompasses fundamental physical understanding, common and novel applications as well as equipment issues, maintenance and design. The primary audience is process engineers in the microelectronics industry. Additional contributions come from academia and other industry segments (automotive, aerospace, and medical device manufacturing).

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