Diamond Films and Coatings

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出版者:
作者:Davis, Robert F
出品人:
页数:438
译者:
出版时间:1994-1
价格:$ 203.40
装帧:
isbn号码:9780815513230
丛书系列:
图书标签:
  • Diamond Films
  • Diamond Coatings
  • Thin Films
  • Surface Engineering
  • Materials Science
  • Nanotechnology
  • Optical Coatings
  • Protective Coatings
  • Tribology
  • Hard Coatings
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具体描述

This excellent, in-depth review of diamond films and coatings covers their properties, growth, deposition, characterization, and applications. The eight chapters are written by experts in their field. Early studies on synthetic diamonds were done in the 1950s and 1960s, however, their use and importance were not recognized until the late 1970s and early 1980s. These coatings are now being used in high temperature and tribological applications, optics and electro-optics applications, and certainly biological applications.

《流光溢彩:钻石薄膜与涂层的艺术与科学》 引言 在现代科技飞速发展的浪潮中,材料科学始终是推动进步的核心动力之一。而在众多令人瞩目的材料中,钻石,凭借其卓越的硬度、导热性、光学特性以及绝缘性能,早已成为科学家们孜孜不求的研究对象。然而,将天然钻石的优势巧妙地转化为工业应用,特别是以薄膜或涂层形式存在时,所面临的技术挑战与潜力同样巨大。本书《流光溢彩:钻石薄膜与涂层》便是对这一激动人心的领域进行深入探索的结晶。它不仅是一部技术指南,更是一部艺术与科学交织的叙事,揭示了如何将这种宇宙中最坚硬的物质,以最精妙的方式,赋予各种产品以全新的生命力与卓越性能。 本书旨在为读者呈现一个全面而细致的钻石薄膜与涂层知识体系。我们将从钻石本身的独特物理化学性质出发,追溯其在微观层面上的奥秘,并以此为基础,详细阐述当前主流的钻石薄膜沉积技术,包括化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)以及高能离子束沉积等。我们将深入剖析每种技术的原理、设备要求、工艺参数控制以及各自的优缺点,帮助读者理解如何在不同的应用场景下选择最适合的沉积方法。 第一篇:钻石的基石——性质与合成 在深入了解钻石薄膜与涂层之前,有必要先对钻石本身进行一次全面的审视。本书的第一篇将从钻石的基本性质开始,从晶体结构、原子键合、电子能带结构等方面,深入剖析其无与伦比的物理特性。读者将了解到,正是这些微观层面的独特性,造就了钻石在硬度、导热性、光学透过性、电绝缘性、化学惰性等方面的王者地位。 接着,我们将回顾钻石的合成历史,从最初的高压高温(HPHT)方法,到后来革命性的化学气相沉积(CVD)技术。CVD技术无疑是现代钻石薄膜与涂层产业的基石,它打破了天然钻石的供给限制,使得在各种基底上生长出高质量的钻石薄膜成为可能。本书将详细介绍CVD技术的原理,包括其基本反应机理、生长等离子体特性、气体组分的影响、以及常用的生长模式(如微波等离子体CVD、热丝CVD等)。我们将探讨如何通过精确控制温度、压力、气体流量、微波功率等参数,来调控薄膜的生长速率、晶体质量、生长纹理以及表面形貌。 此外,本书还将触及其他重要的合成方法,如物理气相沉积(PVD)和高能离子束沉积。虽然CVD在生产大面积、高质量钻石薄膜方面占据主导地位,但PVD技术在某些特定应用场景下,如超薄膜制备或特定结构的构建,也展现出其独特的优势。高能离子束技术则为制备特殊结构或进行表面改性提供了新的思路。 第二篇:精工细作——钻石薄膜沉积技术详解 在掌握了钻石的基础知识后,本书将正式进入钻石薄膜与涂层的核心——沉积技术。第二篇将对各种主流的沉积技术进行深入的解析。 化学气相沉积(CVD): 这是本书着重介绍的技术。我们将详细讲解微波等离子体CVD(MPCVD)和热丝CVD(HFCVD)等主流工艺。对于MPCVD,我们将探讨微波功率、腔体设计、气流分布以及等离子体诊断技术对薄膜质量的影响。对于HFCVD,我们将分析加热丝的温度、气体引入方式以及反应区域的控制。同时,本书还将介绍辅助技术,如射频(RF)辅助CVD,以及如何通过掺杂(如硼掺杂)来制备导电金刚石薄膜。 物理气相沉积(PVD): 尽管不如CVD在生产大块金刚石薄膜方面广泛,PVD技术在制备超薄金刚石或类金刚石碳(DLC)薄膜方面仍有重要价值。本书将介绍溅射、蒸发等PVD方法,并探讨其在制备金刚石薄膜时的应用限制和特点。 其他沉积技术: 简要介绍高能离子束沉积、水热合成法等,并说明其适用范围和研究进展。 在描述每种技术时,本书都将强调工艺参数与薄膜性能之间的相互关系。例如,生长温度如何影响晶粒尺寸和取向,气体组分(如甲烷、氢气、氧气等)比例如何影响碳源的分解和薄膜的生长机制,微波功率或热丝温度如何影响等离子体的激活程度,以及这些因素最终如何体现在薄膜的硬度、附着力、表面粗糙度、内应力以及光学和电学性能上。 第三篇:形形色色——钻石薄膜的表征与性能 沉积出高质量的钻石薄膜仅仅是第一步,如何准确地表征其结构、成分和性能,是理解和优化应用的关键。本书的第三篇将聚焦于各种先进的表征技术。 结构与形貌表征: X射线衍射(XRD)用于分析薄膜的晶体结构和取向;扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)用于观察薄膜的表面形貌、微观结构和晶界;原子力显微镜(AFM)用于精确测量薄膜的表面粗糙度和三维形貌。 成分与化学态分析: 拉曼光谱(Raman Spectroscopy)是鉴定金刚石相碳和非金刚石相碳(如石墨、非晶碳)的有力工具;X射线光电子能谱(XPS)用于分析薄膜表面的元素组成和化学态;能量色散X射线光谱(EDX)或波长色散X射线光谱(WDX)常与SEM/TEM联用,进行元素成分分析。 力学性能测试: 硬度计(如维氏硬度计、纳米压痕仪)用于测量薄膜的硬度;划痕试验和附着力测试用于评估薄膜与基底的结合强度;弯曲试验和拉伸试验用于研究薄膜的韧性和应力-应变行为。 热学性能测试: 激光闪射法(Laser Flash Method)用于测量薄膜的热导率;差示扫描量热法(DSC)用于分析热相变。 光学性能测试: 紫外-可见-近红外(UV-Vis-NIR)分光光度计用于测量薄膜的光学透过率和反射率;椭圆偏振法(Ellipsometry)用于测量薄膜的折射率和消光系数。 电学性能测试: 四探针法用于测量薄膜的电阻率;霍尔效应测量用于确定载流子类型、浓度和迁移率。 我们将详细介绍这些表征技术的原理、实验方法以及如何解读所得数据,并重点说明如何将这些表征结果与沉积工艺参数联系起来,从而指导工艺优化,获得特定性能的钻石薄膜。 第四篇:锦上添花——钻石薄膜与涂层的应用领域 钻石薄膜与涂层最激动人心的部分在于其广泛而深刻的应用潜力。本书的第四篇将对这些实际应用进行详尽的阐述。 光学与光电子领域: 钻石的高透光性使其成为高功率激光窗口、光学元件防护涂层以及光电探测器的理想材料。其优异的热导性也有助于解决高功率器件中的散热问题。 电子与半导体领域: 钻石的高导热性使其成为电子元件散热的理想衬底,可以提高器件的可靠性和性能。掺杂金刚石薄膜作为宽禁带半导体材料,在高温、高功率、高频电子器件领域具有广阔的应用前景。 工具与机械领域: 钻石薄膜的超高硬度和耐磨性使其成为刀具、模具、轴承等精密机械部件的理想涂层,显著提高其使用寿命和加工精度。 生物医学领域: 钻石的化学惰性和生物相容性,使其在生物传感器、植入式医疗器械以及药物递送系统方面具有潜在应用。 其他新兴应用: 例如,作为传感器材料、催化剂载体、真空电子器件阴极等。 在介绍每个应用领域时,本书将深入分析钻石薄膜在其中所扮演的关键角色,以及其性能优势如何转化为实际效益。同时,我们也会探讨该领域的挑战与未来发展方向。 第五篇:挑战与展望——钻石薄膜与涂层的未来 没有哪项技术是完美的,钻石薄膜与涂层的发展也面临着诸多挑战。本书的第五篇将对这些挑战进行梳理,并对该领域的未来发展趋势进行展望。 挑战: 成本控制: 高质量钻石薄膜的生产成本仍然较高,限制了其大规模商业化应用。 基底兼容性: 将钻石薄膜牢固地沉积在各种不同性质的基底上(特别是柔性基底)仍然是一个技术难题。 大面积均匀生长: 在大面积基底上实现高质量、高均匀性的钻石薄膜生长,仍需要工艺上的突破。 特定性能的精准调控: 针对某些特定的高端应用,需要更精密的工艺控制来获得所需的光学、电学或力学性能。 环境友好型工艺: 研发更加环保、低能耗的钻石薄膜制备技术。 未来展望: 高性能化: 结合先进的纳米结构设计和复合材料技术,开发具有更高硬度、更高导热性、更优光学性能的钻石薄膜。 功能集成化: 将钻石薄膜与微电子、微机械等技术集成,构建多功能器件。 绿色制造: 发展低成本、低能耗、环境友好的钻石薄膜制备技术,如水基CVD、等离子体增强原子层沉积(PEALD)等。 智能化生产: 利用大数据、人工智能等技术,实现钻石薄膜生长的智能化控制和优化。 跨领域融合: 探索钻石薄膜在新能源、量子计算、航空航天等新兴领域的应用。 结语 《流光溢彩:钻石薄膜与涂层》致力于为研究人员、工程师、学生以及对前沿材料科学感兴趣的读者提供一个全面、深入的学习平台。本书力求在严谨的科学基础上,融合清晰易懂的讲解,展现钻石薄膜与涂层这一迷人领域的广阔天地。从基础理论到前沿应用,从经典技术到未来展望,我们希望通过本书的阅读,读者能够深刻理解钻石薄膜与涂层所蕴含的巨大潜力,并从中获得启发,共同推动这一技术的发展,为人类社会的进步贡献一份力量。

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