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Multi-wafer Rotating MEMS Machines

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Lang, Jeffrey 編 作者
譯者
2009-9 出版日期
472 頁數
$ 236.17 價格
叢書系列
9780387777467 圖書編碼

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Multi-wafer Rotating MEMS Machines 在線電子書 圖書描述

The collaboration and research that was developed to produce the MIT Gas Turbine Engine are described in this book. Both the engine and generator are fabricated from silicon using a combination of bulk and surface microfabrication technologies. The book discusses the technical details that have gone into producing the engine and the overall systems-level tradeoffs, in particular its motor compressors and turbine generators, and the decisions that have been made.

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