硅集成电路工艺基础在线电子书 pdf 下载 txt下载 epub 下载 mobi 下载 2025

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关旭东作者

北京大学出版社

译者

2003-1 出版日期

349 页数

40.00元价格

丛书系列

9787301065075 图书编码

硅集成电路工艺基础在线电子书图书标签: 微电子工艺 IC 石艳玲没看完的书器件中国

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发表于2025-01-31

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硅集成电路工艺基础在线电子书用户评价

评分☆☆☆☆☆

但求不挂。。。

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每一步工艺都具体做了实验。很不错的教材，与半导体材料这本书可以结合来看。

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LCN对我还不错哈哈哈哈。。给了我80,3.7

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硅集成电路工艺基础在线电子书图书描述

《普通高等教育"十五"国家级规划教材•硅集成电路工艺基础》系统讲述了硅集成电路制造中的单项工艺，内容主要包括硅的晶体结构、氧化、扩散、离子注入、物理气相淀积、化学气相淀积、外延、光刻与刻蚀、金属化与多层互连，最后介绍了CMOS集成电路、双极集成电路以及BiCMOS集成电路的工艺集成。此外，对新工艺、新技术、集成电路工艺技术的发展趋势以及新结构器件对集成电路制造工艺提出的新要求等方面也作了介绍。《普通高等教育"十五"国家级规划教材•硅集成电路工艺基础》可作为高等学校微电子专业本科生和研究生的教材或参考书，也可供从事集成电路制造的工艺技术人员阅读。

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