内容简介
本书系综合目前国内外有关文献及作者的研究成果编著而成。主要内容有：传感
器敏感材料；微机械加工技术；传感器建模；硅电容式集成传感器；谐振式传感器；声
表面波传感器；薄膜传感器；光纤传感器；场效应管型化学传感器；固态成象传感器；
Smart传感器等十一章。从敏感材料、微机械加工技术到一些先进传感器的设计原
理、应用和发展情况作了较全面、深入的讨论。
本书内容丰富、实用、新颖。既重视理论，又结合应用。可供大专院校有关专业的
研究生、高年级大学生和从事仪器仪表、测试技术、自动化等方面的科技人员参考使
用。
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