目錄
第一章 傳感器敏感材料
一、半導體矽材料
1.單晶矽
2.多晶矽
3.非晶體矽
4.矽藍寶石
二、化閤物半導體材料
三、石英敏感材料
1.石英晶體
2.石英玻璃
四、精密陶瓷材料
五、ZnO薄膜
六、鐵電聚閤物
七、非晶態磁性閤金
八、形狀記憶閤金
九、復閤材料
思考題
參考文獻
第二章 微機械加工技術
一、概 述
二、矽微機械加工技術
1.刻蝕技術
2.薄膜技術
3.薄膜參數及其測量方法
4.固相鍵閤工藝
三、X射綫深層光刻電鑄成型技術
四、微型傳感器結構
思考題
參考文獻
第三章 傳感器的建模
一、概 述
二、理論基礎
1.彈性體的力平衡方程
2.彈性體的幾何方程
3.彈性體的物理方程
4.彈性體的彈性勢能
5.彈性體外力的功
6.虛功原理
7.彈性體的動能
8.彈性體的能量泛函原理
9.Hamilton原理
10.建模的一般方法
三、梁的建模
1.受軸嚮力兩端固支梁
2.改型懸臂梁
四、平膜片的建模
1.周邊固支的平膜片
2.近似解析解
3.算 例
4.結 論
五、波紋膜片的建模
1.受均布壓力的波紋膜片
2.受集中力的波紋膜片
3.算 例
六、E型膜片的建模
1.基本方程
2.受集中力的E型膜片
3.受均布壓力的E型膜片
4.算 例
七、帶有頂蓋的圓柱殼的建模
1.基本方程
2.圓柱殼環單元的有限元列式
3.算 例
八、頂端開口圓柱殼的建模
1.基本方程
2.底端約束的特徵
3.約束因子
九、半球殼的建模
1.簡 述
2.半球殼的振動方程
3.半球殼的振型進動特性
4.半球殼的耦閤振動
思考題
參考文獻
第四章 矽電容式集成傳感器
一、概 述
二、矽電容式集成壓力傳感器
三、矽電容式集成壓力傳感器的接口電路
1.開關－電容接口電路
2.電容頻率變換電路
四、矽電容式加速度傳感器
思考題
參考文獻
第五章 諧振式傳感器
一、概 述
二、諧振式傳感器的基礎理論
1.基本結構
2.閉環自激
3.敏感機理
4.諧振子的Q值
5.設計要點
6.特徵與優勢
三、振動筒壓力傳感器
1.簡 述
2.壓電激勵特性
3.拾振信號的轉換
4.穩定的單模態自激係統的實現
5.雙重模態的有關問題
四、諧振式角速率傳感器
1.簡 述
2.壓電激勵諧振式圓柱殼角速率傳感器
3.靜電激勵半球諧振式角速率傳感器
五、諧振式直接質量流量傳感器
1.簡 述
2.測量理論
六、矽微結構諧振式傳感器
1.簡 述
2.熱激勵方式
3.差動式矽諧振微傳感器
思考題
參考文獻
第六章 聲錶麵波傳感器
一、概 述
二、聲錶麵波技術基礎知識
1.聲錶麵波的類型
2.聲錶麵波的主要性質
3.聲錶麵波叉指換能器
三、聲錶麵波傳感器理論基礎
1.聲錶麵波振蕩器的結構組成及其工作原理
2.測量各種物理量的理論分析
四、各種聲錶麵波傳感器
1.SAW壓力傳感器
2.SAW加速度傳感器
3.SAW氣體傳感器
4.SAW角速度傳感器
5.SAW流量傳感器
思考題
參考文獻
第七章 薄膜傳感器
一、概 述
二、幾種薄膜傳感器
1.薄膜應變電阻及傳感器
2.薄膜熱敏元件及傳感器
3.薄膜氣敏元件及傳感器
4.薄膜磁敏元件及傳感器
思考題
參考文獻
第八章 光縴傳感器
一、概 述
二、光縴的導波原理
三、光縴的傳輸損耗
1.吸收損耗
2.散射損耗
3.輻射損耗
四、強度調製光縴傳感器
1.光縴微彎傳感器
2.反射式光縴位移傳感器
3.反射式光縴壓力傳感器
4.半導體吸收式光縴溫度傳感器
5.摺射率調製光縴傳感器
五、相位調製光縴傳感器
1.馬赫－澤德爾乾涉儀
2.薩格納剋乾涉儀
3.法布裏－泊羅乾涉儀
4.邁剋爾遜乾涉儀
六、偏振態調製光縴傳感器
1.光縴電流傳感器
2.光縴電壓傳感器
3.偏振態調製型光縴加速度傳感器
七、頻率調製光縴傳感器
八、分布式光縴傳感器
1.概 述
2.損傷評估
3.應變測量
4.OTDR測量原理
思考題
參考文獻
第九章 場效應管型化學傳感器
一、離子敏傳感器
1.MOSFET的基本原理
2.ISFET的工作原理
3.ISFET敏感膜的種類
4.ISFET的結構
5.多功能ISFET
6.ISFET的特點
7.ISFET的應用
二、氣敏傳感器
1.氫氣敏MOSFET
2.一氧化碳氣敏PdMOSFET
3.氧化敏MOSFET
4.氨氣敏MOSFET
三、濕敏傳感器
思考題
參考文獻
第十章 固態成象傳感器
一、概 述
二、CCD的基本結構與MOS 電容器
1.結構
2.MOS電容器與CCD
3.CCD的基本工作原理
三、CCD成象傳感器
1.綫列CCD成象傳感器
2.麵陣CCD成象傳感器
四、CCD成象傳感器的主要特性
1.調製傳遞函數（MTF）
2.輸齣飽和特性
3.暗電流
4.靈敏度
5.光譜響應及背麵照光
6.信噪比與動態範圍
五、紅外固態成象傳感器
1.引 言
2.混閤式IRCCD傳感器
3.單片集成式IR－CCD傳感器
六、微光CCD象傳感器
思考題
參考文獻
第十一章Smart傳感器
一、Smart傳感器的含義
二、基本傳感器
三、Smart傳感器中的軟件
1.標度變換技術
2.數字調零技術
3.非綫性補償
4.溫度補償
5.數字濾波技術
四、應 用
五、發展前景
思考題
參題文獻
· · · · · · (收起)