內容簡介
本書係綜閤目前國內外有關文獻及作者的研究成果編著而成。主要內容有：傳感
器敏感材料；微機械加工技術；傳感器建模；矽電容式集成傳感器；諧振式傳感器；聲
錶麵波傳感器；薄膜傳感器；光縴傳感器；場效應管型化學傳感器；固態成象傳感器；
Smart傳感器等十一章。從敏感材料、微機械加工技術到一些先進傳感器的設計原
理、應用和發展情況作瞭較全麵、深入的討論。
本書內容豐富、實用、新穎。既重視理論，又結閤應用。可供大專院校有關專業的
研究生、高年級大學生和從事儀器儀錶、測試技術、自動化等方麵的科技人員參考使
用。
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