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半導體製程設備
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張勁燕 作者
五南
译者
2001年09月01日 出版日期
0 页数
NT$ 680 价格
丛书系列
9789571125664 图书编码

半導體製程設備 在线电子书 图书标签: 半导体  james  Edward   

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发表于2024-12-27

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半導體製程設備 在线电子书 著者简介

張勁燕

逢甲大學電機系副教授

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半導體製程設備 在线电子书 图书描述

半導體元件由矽土製成矽晶圓， 再經數百個製程步驟，才製作出256M級的DRAM。這期間所使用的機器，主要的也不過十數種。晶圓成長爐、磊晶反應器、步進照像儀、化學氣相沉積爐、氧化和擴散高溫爐、離子植入機、乾蝕刻機、電子束蒸鍍機、濺鍍機、化學機械研磨機等。以及封裝製程設備、真空幫浦及系統洗淨機器等主要支援設備。本書對這些機器的構造和操作原理都有詳盡的敘述。

砷化鎵Ⅲ–Ⅴ化合物半導體製程，如金屬有機化學氣相沉積爐、分子束磊晶和銅製程使用設備、低介電常數介電製作設備以及一些2000千禧年推出的新機器，也都在本書有詳盡的敘述，次世代先進的製程設備也有一些介紹。

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