本書詳細描述瞭多種矽微機械傳感器的工作原理。因為設計和製造傳感器需要多學科的知識，隻有經過電學、機械工程、物理和化學培訓的工程師纔能夠進入這個領域並勝任此項工作。為瞭滿足這個需求，本書從有關矽微機械傳感器設計所需的基本科學知識開始，論述瞭包括物理定律的按比例縮小、梁和膜變形的力學、傳感原理、流體流動和熱傳遞的基本規律以及相關的電子電路等眾多技術環節。此外還嚮讀者介紹瞭矽微機械加工工藝和傳感器封裝的基本知識，並用壓力傳感器、力學傳感器、加速度計、陀螺和流體傳感器的眾多例子說明瞭設計、製造和性能方麵的有關問題。
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