集成電路製造工藝 在線電子書 圖書標籤: 4654
發表於2024-11-24
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本書是依據高等職業教育的特點編寫的,是一本將集成電路的製造工藝原理和製造技術融為一體的教材。
由於矽器件占據瞭微電子産品的絕大部分領域,所以本教材以矽平麵工藝為主綫,同時也介紹砷化鎵之類其他工藝。本書共15章,介紹瞭矽單晶製備;外延、氧化、濺射(蒸發)、化學氣相澱積等薄膜製備技術;擴散、離子注入等摻雜技術;製版、光刻、刻蝕、CAD等圖形加工技術;金屬化和平坦化、組裝工程、産品可靠性,以及潔淨技術、去離子水製備等外圍加工技術。
本書適閤作為高職高專電子信息技術相關專業的教材,也適閤作為從事微電子專業的中高級技術工人的培訓教材。
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