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微电子机械系统
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姜岩峰 作者
化学工业出版社
译者
2006-3 出版日期
194 页数
28.00元 价格
简裝本
丛书系列
9787502581589 图书编码

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发表于2025-01-01

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微电子机械系统 在线电子书 图书描述

本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结

构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分为五个部

分，首先讲述了MEMS的相关力学量测量方法，然后介绍了MEMS中的主要工艺

，在此基础上，系统介绍了MEMS系统中的传感器，包括传感器的原理、结构

和实现方法，另外对MEMS器件的使用方法和应用范围进行了讨论，最后阐述

了MEMS系统仿真方面的内容。

本书适合于高等院校微电子专业本科生或研究生教学参考使用，也可供

从事MEMS领域研究的科技人员参考。

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