本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结
构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分为五个部
分，首先讲述了MEMS的相关力学量测量方法，然后介绍了MEMS中的主要工艺
，在此基础上，系统介绍了MEMS系统中的传感器，包括传感器的原理、结构
和实现方法，另外对MEMS器件的使用方法和应用范围进行了讨论，最后阐述
了MEMS系统仿真方面的内容。
本书适合于高等院校微电子专业本科生或研究生教学参考使用，也可供
从事MEMS领域研究的科技人员参考。
具体描述
读后感
评分
评分
评分
评分
评分
用户评价
评分
评分
评分
评分
评分
相关图书
本站所有内容均为互联网搜索引擎提供的公开搜索信息，本站不存储任何数据与内容，任何内容与数据均与本站无关，如有需要请联系相关搜索引擎包括但不限于百度，google,bing,sogou 等
© 2025 book.wenda123.org All Rights Reserved. 图书目录大全 版权所有