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微電子機械係統
☆☆☆☆☆
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薑岩峰 作者
化學工業齣版社
譯者
2006-3 出版日期
194 頁數
28.00元 價格
簡裝本
叢書系列
9787502581589 圖書編碼

微電子機械係統 在線電子書 圖書標籤: 微電子機械係統   

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發表於2024-11-08

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微電子機械係統 在線電子書 用戶評價

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微電子機械係統 在線電子書 著者簡介

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微電子機械係統 在線電子書 圖書描述

本書介紹瞭微電子機械係統(MEMS)相關的基礎知識、主要工藝和器件結

構等方麵內容，對該領域的熱點研究問題進行瞭探討。主要內容分為五個部

分，首先講述瞭MEMS的相關力學量測量方法，然後介紹瞭MEMS中的主要工藝

，在此基礎上，係統介紹瞭MEMS係統中的傳感器，包括傳感器的原理、結構

和實現方法，另外對MEMS器件的使用方法和應用範圍進行瞭討論，最後闡述

瞭MEMS係統仿真方麵的內容。

本書適閤於高等院校微電子專業本科生或研究生教學參考使用，也可供

從事MEMS領域研究的科技人員參考。

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