《現代集成電路製造工藝原理》可作為普通高校或職業技術院校理、工科本（專）科電子科學技術（一級學科）下微電子學與固體電子學及 微電子技術方嚮、集成電路設計及集成係統或微電子技術專業的專業課教材、微電子相關專業的研究生選修課教材，亦可作為集成電路芯片製造企業工程技術人員參考書。
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