超大规模集成电路技术基础

超大规模集成电路技术基础 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2025

出版者:电子工业出版社
作者:李兴 主编
出品人:
页数:262
译者:
出版时间:1999-5
价格:35.00元
装帧:平装
isbn号码:9787505351950
丛书系列:
图书标签:
  •  
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本书系统地介绍了超大规模集成电路工艺理论和工艺方法。全书共九章,包括光刻、掺杂、氧化及热处理品、薄膜工艺基础与物理气相沉积、化学气相沉积、刻蚀、平坦化与多重内连线工艺及超大规模集成电路工艺汇总等。

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