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真空技术

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王欲知 作者
北航大学
译者
2007-6 出版日期
574 页数
55.00元 价格
国防科工委“十五”规划教材 丛书系列
9787810779548 图书编码

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发表于2024-12-25


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真空技术 在线电子书 图书描述

本书包括真空技术的物理基础及实际技术两大部分。物理基础部分由稀薄气体理论及固体一气体间的现象两章组成;实际技术部分包括真空获得、总压强测量、分压强测量、真空检漏技术及真空系统等5章。本书注重理论联系实际,科学系统性较完整,对问题的阐述力求做到理论严谨、概念准确。本书可作为电子物理与技术、半导体、微电子、冶金、真空设备和实验物理等有关专业的研究生及本科生教材使用,也可供有关真空技术应用方面的科技人员参考。

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