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橢圓光度法在線電子書 pdf 下載 txt下載 epub 下載 mobi 下載 2024

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Fujiwara, Hiroyuki 作者

John Wiley & Sons Inc

譯者

2007-1 出版日期

369 頁數

1717.60元價格

HRD

叢書系列

9780470016084 圖書編碼

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發表於2024-09-17

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橢圓光度法在線電子書用戶評價

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橢圓光度法在線電子書著者簡介

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橢圓光度法在線電子書圖書描述

Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.

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