離子束技術及應用 在線電子書 圖書標籤: 物理學 材料學 教材
發表於2024-12-25
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本書介紹離子束技術及應用。全書共分六章,其中包括:電子轟擊離子源等離子體特性及設計基礎;離子光學係統及基本設計方法;離子源結構設計優化法;離子源陰極的設計方法;離子束刻蝕(IBE)工藝基礎;離子束刻蝕的應用及其發展。
本書是作者多年來從事這方麵科研工作的總結。取材新穎,理論聯係實際,在闡明基本理論及物理概念的基礎上,介紹實用離子源的基本設計方法及基本工藝應用原理,並提供瞭豐富的實用範例。可供從事離子束刻蝕研究的科技人員及設備使用者閱讀,也可供大專院校有關專業師生參考。
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