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離子束技術及應用
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劉金聲 作者
國防工業齣版社
譯者
1995-3-1 出版日期
315 頁數
15.80元 價格
精裝
叢書系列
9787118013122 圖書編碼

離子束技術及應用 在線電子書 圖書標籤: 物理學  材料學  教材   

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發表於2024-11-23

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離子束技術及應用 在線電子書 著者簡介

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離子束技術及應用 在線電子書 圖書描述

本書介紹離子束技術及應用。全書共分六章，其中包括：電子轟擊離子源等離子體特性及設計基礎；離子光學係統及基本設計方法；離子源結構設計優化法；離子源陰極的設計方法；離子束刻蝕（IBE）工藝基礎；離子束刻蝕的應用及其發展。

本書是作者多年來從事這方麵科研工作的總結。取材新穎，理論聯係實際，在闡明基本理論及物理概念的基礎上，介紹實用離子源的基本設計方法及基本工藝應用原理，並提供瞭豐富的實用範例。可供從事離子束刻蝕研究的科技人員及設備使用者閱讀，也可供大專院校有關專業師生參考。

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