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Leondes, Cornelius T. 编作者

Springer Verlag

译者

2007-1 出版日期

2188 页数

1200 价格

HRD

丛书系列

9780387245201 图书编码

MEMS/NEMS 在线电子书图书标签:

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发表于2024-11-28

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MEMS/NEMS 在线电子书图书描述

This significant and uniquely comprehensive five-volume reference is a valuable source for research workers, practitioners, computer scientists, students, and technologists. It covers all of the major topics within the subject and offers a comprehensive treatment of MEMS design, fabrication techniques, and manufacturing methods. It also includes current medical applications of MEMS technology and provides applications of MEMS to opto-electronic devices. It is clearly written, self-contained, and accessible, with helpful standard features including an introduction, summary, extensive figures and design examples with comprehensive reference lists.

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